டான்டலம் ஸ்பட்டரிங் இலக்குகள் ஸ்பட்டர் படிவு செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, இது ஒரு அடி மூலக்கூறு மீது பல்வேறு பொருட்களின் மெல்லிய படலங்களை டெபாசிட் செய்யும் முறையாகும். டான்டலம் ஸ்பட்டரிங் இலக்குகளின் விஷயத்தில், செமிகண்டக்டர் செதில்கள், டிஸ்ப்ளே பூச்சுகள் மற்றும் பிற மின்னணு பாகங்கள் போன்ற பல்வேறு பரப்புகளில் டான்டலம் மெல்லிய பிலிம்களை டெபாசிட் செய்ய அவை பயன்படுத்தப்படுகின்றன. ஸ்பட்டர் படிவு செயல்பாட்டின் போது, ​​டான்டலம் ஸ்பட்டரிங் இலக்கு உயர்-ஆற்றல் அயனிகளால் தாக்கப்படுகிறது, இதனால் டான்டலம் அணுக்கள் இலக்கில் இருந்து வெளியேற்றப்பட்டு ஒரு மெல்லிய படலத்தின் வடிவத்தில் அடி மூலக்கூறில் வைக்கப்படுகின்றன. இந்த செயல்முறை படத்தின் தடிமன் மற்றும் சீரான தன்மையை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்த அனுமதிக்கிறது, இது மின்னணு சாதனங்கள் மற்றும் பிற உயர் தொழில்நுட்ப தயாரிப்புகளை உற்பத்தி செய்வதற்கான ஒரு முக்கிய முறையாகும். டான்டலம் ஸ்பட்டரிங் இலக்குகள் அவற்றின் உயர் உருகுநிலை, இரசாயன செயலற்ற தன்மை மற்றும் பல்வேறு அடி மூலக்கூறு பொருட்களுடன் பொருந்தக்கூடிய தன்மை ஆகியவற்றிற்காக மதிப்பிடப்படுகின்றன, அவை நீடித்த மற்றும் உயர்தர படங்கள் தேவைப்படும் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகின்றன. இந்த இலக்குகள் பொதுவாக மின்தேக்கிகள், ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகள் மற்றும் பிற மின்னணு சாதனங்களின் உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.