Ja, wolfraamfilamenten zijn gevoelig voor besmetting tijdens het ionenimplantatieproces. Verontreiniging kan optreden als gevolg van een verscheidenheid aan factoren, zoals restgassen, deeltjes of onzuiverheden die aanwezig zijn in de ionenimplantatiekamer. Deze verontreinigingen kunnen zich hechten aan het oppervlak van het wolfraamfilament, waardoor de zuiverheid ervan wordt aangetast en mogelijk de prestaties van het ionenimplantatieproces worden beïnvloed. Daarom is het handhaven van een schone en gecontroleerde omgeving binnen de ionenimplantatiekamer van cruciaal belang om het risico op besmetting te minimaliseren en de integriteit van het wolfraamfilament te garanderen. Regelmatige reinigings- en onderhoudsprocedures kunnen ook helpen de kans op besmetting tijdens ionenimplantatie te verminderen.

Wolfraamdraad staat bekend om zijn hoge smeltpunt en uitstekende mechanische eigenschappen, waardoor het bestand is tegen vervorming onder normale ionenimplantatieomstandigheden. De warmte die wordt gegenereerd tijdens het hoogenergetische ionenbombardement en de ionenimplantatie kan echter na verloop van tijd vervorming veroorzaken, vooral als de procesparameters niet zorgvuldig worden gecontroleerd.

Factoren zoals de intensiteit en duur van de ionenbundel en de temperatuur en spanningsniveaus die de wolfraamdraad ervaart, kunnen allemaal bijdragen aan de kans op vervorming. Bovendien zullen eventuele onzuiverheden of defecten in de wolfraamdraad de gevoeligheid voor vervorming verergeren.

Om het risico op vervorming te verminderen, moeten procesparameters zorgvuldig worden bewaakt en gecontroleerd, moeten de zuiverheid en kwaliteit van het wolfraamgloeidraad worden gegarandeerd en moeten passende onderhouds- en inspectieprotocollen worden geïmplementeerd voor de ionenimplantatieapparatuur. Het regelmatig beoordelen van de staat en prestaties van wolfraamdraad kan helpen bij het identificeren van eventuele tekenen van vervorming en het nemen van corrigerende maatregelen als dat nodig is.