Polierter Elektrodenstab aus TZM-Legierung, der in der Halbleiterindustrie verwendet wird

Kurzbeschreibung:

Polierte Elektrodenstäbe aus TZM-Legierung werden in der Tat in verschiedenen kritischen Anwendungen in der Halbleiterindustrie eingesetzt. Diese Stäbe werden wegen ihrer Hochtemperaturfestigkeit, hervorragenden Wärmeleitfähigkeit sowie Verschleiß- und Verformungsbeständigkeit geschätzt. In der Halbleiterindustrie werden polierte Elektrodenstäbe aus TZM-Legierung in Prozessen wie Ionenimplantation, Sputtern und anderen Hochtemperaturanwendungen verwendet, die eine präzise Steuerung und Stabilität erfordern.


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  • Was ist eine TZM-Legierung?

TZM-Legierung ist ein Hochleistungswerkstoff, legiert mit Molybdän (Mo), Titan (Ti) und Zirkonium (Zr). Das Akronym „TZM“ leitet sich aus den Anfangsbuchstaben der Elemente der Legierung ab. Diese Kombination von Elementen verleiht dem Material eine hervorragende Hochtemperaturfestigkeit, gute Wärmeleitfähigkeit und Beständigkeit gegen thermisches Kriechen, wodurch es für anspruchsvolle Anwendungen in Branchen wie Luft- und Raumfahrt, Verteidigung, Elektronik und Hochtemperaturverarbeitung geeignet ist.

TZM-Legierungen sind für ihre Fähigkeit bekannt, die mechanischen Eigenschaften bei hohen Temperaturen beizubehalten, was sie für kritische Anwendungen wertvoll macht, die Stabilität und Leistung unter extremen Bedingungen erfordern.

TZM-Elektrodenstab (3)
  • Wie hoch ist die Rekristallisationstemperatur von TZM?

Die Rekristallisationstemperatur der TZM-Legierung (Titan-Zirkonium-Molybdän) beträgt etwa 1300 °C bis 1400 °C (2372 °F bis 2552 °F). Innerhalb dieses Temperaturbereichs rekristallisieren deformierte Körner im Material, wodurch neue, unverformte Körner entstehen und Eigenspannungen beseitigt werden. Das Verständnis der Rekristallisationstemperatur ist wichtig für Prozesse wie Glühen und Wärmebehandlung, bei denen die Mikrostruktur und die mechanischen Eigenschaften des Materials für bestimmte Anwendungen optimiert werden.

TZM-Elektrodenstab
  • Wofür wird die TZM-Legierung verwendet?

TZM-Legierungen bestehen aus Titan (Ti), Zirkonium (Zr) und Molybdän (Mo) und werden aufgrund ihrer hervorragenden mechanischen und thermischen Eigenschaften in einer Vielzahl von Hochtemperaturanwendungen eingesetzt. Zu den häufigsten Anwendungen von TZM-Legierungen gehören:

1. Luft- und Raumfahrt und Verteidigung: TZM wird in Luft- und Raumfahrt- und Verteidigungsanwendungen für Komponenten verwendet, die Hochtemperaturfestigkeit und -stabilität erfordern, wie z. B. Raketendüsen, Hochtemperatur-Strukturteile und andere kritische Komponenten.

2. Hochtemperaturofenkomponenten: TZM wird beim Bau von Hochtemperaturöfen in der Metallurgie, Glasherstellung, Halbleiterverarbeitung und anderen Industrien eingesetzt. Entscheidend sind seine Hochtemperaturfestigkeit und thermische Stabilität.

3. Elektrische und elektronische Komponenten: TZM wird aufgrund seiner guten elektrischen Leitfähigkeit und thermischen Eigenschaften in elektrischen Kontakten, Kühlkörpern und anderen elektronischen Komponenten verwendet.

4. Medizinische Geräte: TZM wird in medizinischen Geräten und Geräten verwendet, insbesondere in Anwendungen, die eine hohe Temperaturbeständigkeit und Biokompatibilität erfordern, wie z. B. Röntgenröhren und Strahlenschutz.

Insgesamt werden TZM-Legierungen wegen ihrer Fähigkeit geschätzt, hohen Temperaturen standzuhalten, hervorragende thermische und mechanische Eigenschaften zu bieten und die Stabilität in rauen Umgebungen aufrechtzuerhalten, wodurch sie für eine Vielzahl kritischer Anwendungen geeignet sind.

TZM-Elektrodenstab (2)

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