Awọn ibi-afẹde Sputterjẹ awọn ohun elo ti a lo lati fi awọn fiimu tinrin sori awọn sobusitireti lakoko ilana ifisilẹ oru ti ara (PVD). Awọn ohun elo ibi-afẹde ti wa ni bombarded pẹlu awọn ions agbara-giga, nfa awọn ọta lati jade kuro ni oju ibi-afẹde. Awọn ọta ti a sokiri wọnyi lẹhinna ni a gbe sori sobusitireti kan, ti o di fiimu tinrin. Awọn ibi-afẹde sputtering ni a lo nigbagbogbo ni iṣelọpọ ti semikondokito, awọn sẹẹli oorun ati awọn ẹrọ itanna miiran. Wọn maa n ṣe awọn irin, awọn ohun elo tabi awọn agbo ogun ti a yan ti o da lori awọn ohun-ini ti o fẹ ti fiimu ti a fi silẹ.

Ilana sputtering naa ni ipa nipasẹ awọn paramita pupọ, pẹlu:

1. Agbara itọka: Iwọn agbara ti a lo lakoko ilana itọlẹ yoo ni ipa lori agbara ti awọn ions sputtered, nitorina ni ipa lori oṣuwọn sputtering.

2. Titẹ gaasi ti n ṣafẹri: Awọn titẹ ti gaasi ti o wa ninu iyẹwu ni ipa lori gbigbe ti awọn ions sputtered, nitorina ni ipa lori oṣuwọn sputtering ati iṣẹ fiimu.

3. Awọn ohun-ini ibi-afẹde: Awọn ohun-ini ti ara ati kemikali ti ibi-afẹde sputtering, gẹgẹbi akopọ rẹ, líle, aaye yo, ati bẹbẹ lọ, le ni ipa lori ilana sputtering ati iṣẹ ti fiimu ti a fi silẹ.

4. Aaye laarin ibi-afẹde ati sobusitireti: Aaye laarin ibi-afẹde sputtering ati sobusitireti yoo ni ipa lori itọpa ati agbara ti awọn ọta sputtered, nitorinaa ni ipa lori oṣuwọn ifisilẹ ati isokan ti fiimu naa.

5. Iwọn agbara: Iwọn agbara ti a lo si aaye ibi-afẹde yoo ni ipa lori oṣuwọn sputtering ati ṣiṣe ti ilana itọpa.

Nipa iṣakoso ni pẹkipẹki ati iṣapeye awọn aye wọnyi, ilana sputtering le ṣe deede lati ṣaṣeyọri awọn ohun-ini fiimu ti o fẹ ati awọn oṣuwọn ifisilẹ.