Ibi-afẹde sputtering titanium mimọ ti o ga julọ fun ibora igbale
Awọn ibi-afẹde Sputter jẹ awọn ohun elo mimọ-giga ti a lo ninu awọn ilana isọdi ti ara (PVD), imọ-ẹrọ sputtering pataki. Awọn ohun elo wọnyi ni a lo lati ṣe awọn fiimu tinrin lori awọn sobusitireti ni ọpọlọpọ awọn ile-iṣẹ, pẹlu iṣelọpọ semikondokito, awọn aṣọ opiti, ati ifisilẹ fiimu tinrin fun awọn ẹrọ itanna.
Awọn ohun elo ibi-afẹde Sputter le ṣee ṣe lati oriṣiriṣi awọn eroja ati awọn agbo ogun, pẹlu awọn irin, awọn alloys, oxides ati nitrides. Yiyan ohun elo ibi-afẹde sputter da lori awọn ohun-ini kan pato ti o nilo fun ibora fiimu tinrin, gẹgẹbi iṣe eletiriki, awọn ohun-ini opiti, lile ati resistance kemikali.
Awọn ibi-afẹde sputtering ti o wọpọ pẹlu awọn irin bii titanium, aluminiomu ati bàbà, bakanna bi awọn agbo ogun bii indium tin oxide (ITO) ati ọpọlọpọ awọn irin oxides. Yiyan ohun elo ibi-afẹde sputter ti o yẹ jẹ pataki si iyọrisi awọn abuda ti o fẹ ati iṣẹ ti awọn aṣọ fiimu tinrin.
Awọn ibi-afẹde sputtering wa ni awọn iwọn oriṣiriṣi da lori awọn ibeere kan pato ti ilana ifisilẹ fiimu tinrin ati ohun elo sputtering. Iwọn ibi-afẹde sputtering le wa lati awọn centimeters diẹ si awọn mewa ti centimeters ni iwọn ila opin, ati sisanra tun le yatọ.
Iwọn ibi-afẹde sputtering jẹ ipinnu nipasẹ awọn okunfa bii iwọn ti sobusitireti lati wa ni bo, iṣeto ti eto sputtering, ati oṣuwọn ifisilẹ ti o fẹ ati isokan. Ni afikun, iwọn ibi-afẹde sputtering le ni ipa nipasẹ awọn ibeere kan pato ti ohun elo fiimu tinrin, gẹgẹbi agbegbe ti a bo ati awọn ilana ilana gbogbogbo.
Ni ipari, iwọn ti ibi-afẹde sputter ni a yan lati rii daju pe o munadoko ati fifisilẹ aṣọ ti fiimu naa sori sobusitireti, pade awọn iwulo pato ti ilana ibora fiimu tinrin ni iṣelọpọ semikondokito, awọn aṣọ opiti ati awọn ohun elo miiran ti o ni ibatan.
Awọn ọna pupọ lo wa lati ṣe alekun oṣuwọn sputtering ni ilana sputtering kan:
1. Agbara ati Imudara Ipa: Ṣiṣatunṣe awọn agbara agbara ati titẹ agbara ni eto itọka le ni ipa lori oṣuwọn sputtering. Alekun agbara ati jijẹ awọn ipo titẹ le ṣe alekun oṣuwọn sputtering, ti o yori si fifisilẹ yiyara ti fiimu tinrin.
2. Ohun elo Àkọlé ati Geometry: Lilo awọn ibi-afẹde sputtering pẹlu iṣapeye ohun elo ohun elo ati jiometirika le ṣe ilọsiwaju oṣuwọn sputtering. Didara ti o ga julọ, awọn ibi-afẹde sputter ti a ṣe apẹrẹ daradara le mu iṣẹ ṣiṣe sputtering ṣiṣẹ ati yori si awọn oṣuwọn ifisilẹ ti o ga julọ.
3. Igbaradi Ilẹ Ikọja: Didara to dara ati imudara ti oju ibi-afẹde sputtering le ṣe alabapin si alekun awọn oṣuwọn sputtering. Aridaju dada ibi-afẹde ni ominira lati awọn contaminants ati awọn oxides le mu iṣẹ ṣiṣe sputtering dara si.
4. Sobusitireti otutu: Ṣiṣakoso iwọn otutu sobusitireti le ni ipa lori oṣuwọn sputtering. Ni awọn igba miiran, igbega iwọn otutu sobusitireti laarin iwọn kan le ja si alekun awọn oṣuwọn sputtering ati ilọsiwaju didara fiimu.
5. Gas Flow and Composition: Ti o dara ju ṣiṣan gaasi ati akopọ ninu iyẹwu sputtering le ni ipa lori oṣuwọn sputtering. Ṣatunṣe awọn oṣuwọn sisan gaasi ati lilo awọn apapo gaasi sputtering ti o yẹ le mu imunadoko ilana sputtering.
Nipa farabalẹ ni akiyesi awọn nkan wọnyi ati jijẹ awọn ilana ilana sputtering, o ṣee ṣe lati mu iwọn sputtering pọ si ati ilọsiwaju ṣiṣe gbogbogbo ti ifisilẹ fiimu tinrin ni awọn ohun elo sputtering.
Wechat: 15138768150
WhatsApp: +86 15838517324
E-mail : jiajia@forgedmoly.com
