تھوکنے والے اہدافجسمانی بخارات جمع کرنے (PVD) کے عمل کے دوران سبسٹریٹس پر پتلی فلموں کو جمع کرنے کے لیے استعمال ہونے والے مواد ہیں۔ ہدف کے مواد پر زیادہ توانائی والے آئنوں سے بمباری کی جاتی ہے، جس کی وجہ سے ایٹم ہدف کی سطح سے باہر نکل جاتے ہیں۔ یہ چھڑکنے والے ایٹم پھر ایک سبسٹریٹ پر جمع ہوتے ہیں، ایک پتلی فلم بناتے ہیں۔ سپٹرنگ اہداف عام طور پر سیمی کنڈکٹرز، سولر سیلز اور دیگر الیکٹرانک آلات کی تیاری میں استعمال ہوتے ہیں۔ وہ عام طور پر دھاتوں، مرکب دھاتوں یا مرکبات سے بنے ہوتے ہیں جنہیں جمع فلم کی مطلوبہ خصوصیات کی بنیاد پر منتخب کیا جاتا ہے۔

پھٹنے کا عمل کئی پیرامیٹرز سے متاثر ہوتا ہے، بشمول:

1. پھونکنے کی طاقت: پھونکنے کے عمل کے دوران لگائی جانے والی طاقت کی مقدار پھٹنے والے آئنوں کی توانائی کو متاثر کرے گی، اس طرح پھوٹنے کی شرح متاثر ہوگی۔

2. پھٹنے والی گیس کا دباؤ: چیمبر میں پھٹنے والی گیس کا دباؤ پھٹنے والے آئنوں کی رفتار کی منتقلی کو متاثر کرتا ہے، اس طرح اسپٹرنگ کی شرح اور فلم کی کارکردگی متاثر ہوتی ہے۔

3. ہدف کی خصوصیات: پھٹنے والے ہدف کی جسمانی اور کیمیائی خصوصیات، جیسے اس کی ساخت، سختی، پگھلنے کا نقطہ، وغیرہ، پھٹنے کے عمل اور جمع شدہ فلم کی کارکردگی کو متاثر کر سکتی ہے۔

4. ہدف اور سبسٹریٹ کے درمیان فاصلہ: پھٹنے والے ہدف اور سبسٹریٹ کے درمیان فاصلہ پھٹنے والے ایٹموں کی رفتار اور توانائی کو متاثر کرے گا، جس سے فلم کی جمع ہونے کی شرح اور یکسانیت متاثر ہوگی۔

5. پاور کثافت: ہدف کی سطح پر لگائی جانے والی طاقت کی کثافت اسپٹرنگ ریٹ اور پھٹنے کے عمل کی کارکردگی کو متاثر کرتی ہے۔

ان پیرامیٹرز کو احتیاط سے کنٹرول کرنے اور ان کو بہتر بنانے سے، اسپٹرنگ کے عمل کو مطلوبہ فلم کی خصوصیات اور جمع کرنے کی شرح کو حاصل کرنے کے لیے موزوں بنایا جا سکتا ہے۔