Püskürtme hedeflerifiziksel buhar biriktirme (PVD) işlemi sırasında ince filmleri altlıkların üzerine biriktirmek için kullanılan malzemelerdir.Hedef malzeme yüksek enerjili iyonlarla bombardıman edilerek atomların hedef yüzeyden fırlatılmasına neden olur.Bu püskürtülen atomlar daha sonra ince bir film oluşturacak şekilde bir substrat üzerine biriktirilir.Püskürtme hedefleri genellikle yarı iletkenlerin, güneş pillerinin ve diğer elektronik cihazların üretiminde kullanılır.Genellikle biriktirilen filmin istenen özelliklerine göre seçilen metallerden, alaşımlardan veya bileşiklerden yapılırlar.

Püskürtme işlemi aşağıdakiler de dahil olmak üzere çeşitli parametrelerden etkilenir:

1. Püskürtme gücü: Püskürtme işlemi sırasında uygulanan güç miktarı, püskürtülen iyonların enerjisini ve dolayısıyla püskürtme hızını etkileyecektir.

2. Püskürtme gazı basıncı: Odadaki püskürtme gazının basıncı, püskürtülen iyonların momentum transferini etkiler, dolayısıyla püskürtme hızını ve film performansını etkiler.

3. Hedef özellikleri: Püskürtme hedefinin bileşimi, sertliği, erime noktası vb. gibi fiziksel ve kimyasal özellikleri püskürtme işlemini ve biriktirilen filmin performansını etkileyebilir.

4. Hedef ile alt tabaka arasındaki mesafe: Püskürtme hedefi ile alt tabaka arasındaki mesafe, püskürtülen atomların yörüngesini ve enerjisini etkileyecek, dolayısıyla filmin biriktirme hızını ve tekdüzeliğini etkileyecektir.

5. Güç yoğunluğu: Hedef yüzeye uygulanan güç yoğunluğu püskürtme hızını ve püskürtme işleminin verimliliğini etkiler.

Bu parametrelerin dikkatlice kontrol edilmesi ve optimize edilmesiyle püskürtme prosesi, istenen film özelliklerini ve biriktirme oranlarını elde edecek şekilde uyarlanabilir.