Yüksek saflıkta İyon implantasyon tungsten filamanı
İyon implantasyon tungsten teli, iyon implantasyon makinelerinde, özellikle yarı iletken üretim süreçlerinde kullanılan önemli bir bileşendir. Bu tür tungsten tel, yarı iletken ekipmanlarda önemli bir rol oynar ve kalitesi ve performansı, IC proses hatlarının verimliliğini doğrudan etkiler. İyon implantasyon makinesi, VLSI'nin (Çok Büyük Ölçekli Entegre Devre) üretim sürecinde önemli bir ekipmandır ve tungsten telinin iyon kaynağı olarak rolü göz ardı edilemez.
| Boyutlar | Çizimleriniz olarak |
| Menşe Yeri | Luoyang, Henan |
| Marka Adı | OGG |
| Başvuru | yarı iletken |
| Yüzey | Siyah ten, alkali yıkama, araba parlatma, cilalı |
| Saflık | %99,95 |
| Malzeme | W1 |
| Yoğunluk | 19,3g/cm3 |
| Uygulama standartları | Büyük Britanya/T 4181-2017 |
| Erime noktası | 3400°C |
| Safsızlık içeriği | %0,005 |
| Ana bileşenler | W>%99,95 |
| Safsızlık içeriği≤ | |
| Pb | 0,0005 |
| Fe | 0,0020 |
| S | 0,0050 |
| P | 0,0005 |
| C | 0,01 |
| Cr | 0,0010 |
| Al | 0,0015 |
| Cu | 0,0015 |
| K | 0,0080 |
| N | 0,003 |
| Sn | 0,0015 |
| Si | 0,0020 |
| Ca | 0,0015 |
| Na | 0,0020 |
| O | 0,008 |
| Ti | 0,0010 |
| Mg | 0,0010 |
1. Fabrikamız Henan Eyaleti, Luoyang Şehrinde bulunmaktadır. Luoyang, tungsten ve molibden madenlerinin üretim alanı olduğundan kalite ve fiyat açısından mutlak avantajlara sahibiz;
2. Firmamız 15 yılı aşkın deneyime sahip teknik personele sahip olup, her müşterinin ihtiyacına yönelik hedefe yönelik çözüm ve öneriler sunmaktayız.
3. Tüm ürünlerimiz ihraç edilmeden önce sıkı kalite kontrolünden geçmektedir.
4. Arızalı mallar alırsanız, geri ödeme için bizimle iletişime geçebilirsiniz.
1.Hammadde seçimi
(Nihai ürünün saflığını ve mekanik özelliklerini sağlamak için yüksek kaliteli tungsten hammaddelerini seçin.)
2. Eritme ve Arıtma
(Seçilen tungsten hammaddeleri, yabancı maddelerin uzaklaştırılması ve istenilen saflığın elde edilmesi için kontrollü bir ortamda eritilir.)
3. Tel çekme
(Saflaştırılmış tungsten malzemesi, gerekli tel çapını ve mekanik özellikleri elde etmek için bir dizi kalıptan ekstrüde edilir veya çekilir.)
4. Tavlama
(Çekilmiş tungsten teli, iç gerilimi ortadan kaldırmak ve sünekliğini ve işleme performansını artırmak için tavlanır)
5. İyon İmplantasyon Süreci
Bu özel durumda, tungsten filamanın kendisi, iyon implanterindeki performansı artırmak amacıyla özelliklerini değiştirmek için tungsten filamanın yüzeyine iyonların enjekte edildiği bir iyon implantasyon sürecine tabi tutulabilir.)
Yarı iletken çip üretim sürecinde iyon implantasyon makinesi, çip devre şemasını maskeden silikon levhaya aktarmak ve hedef çip fonksiyonunu elde etmek için kullanılan temel ekipmanlardan biridir. Bu işlem, kimyasal mekanik parlatma, ince film biriktirme, fotolitografi, aşındırma ve iyon implantasyonu gibi adımları içerir; bunların arasında iyon implantasyonu, silikon levhaların performansını artırmanın önemli yollarından biridir. İyon implantasyon makinelerinin uygulanması, çip üretiminin süresini ve maliyetini etkili bir şekilde kontrol ederken, çiplerin performansını ve güvenilirliğini de artırır.
Evet, tungsten filamanları iyon implantasyon işlemi sırasında kirlenmeye karşı hassastır. İyon implantasyon odasında mevcut olan artık gazlar, parçacıklar veya yabancı maddeler gibi çeşitli faktörler nedeniyle kirlenme meydana gelebilir. Bu kirletici maddeler tungsten filamentin yüzeyine yapışarak saflığını etkileyebilir ve potansiyel olarak iyon implantasyon işleminin performansını etkileyebilir. Bu nedenle iyon implantasyon odası içinde temiz ve kontrollü bir ortamın muhafaza edilmesi, kontaminasyon riskinin en aza indirilmesi ve tungsten filamentinin bütünlüğünün sağlanması açısından kritik öneme sahiptir. Düzenli temizlik ve bakım prosedürleri ayrıca iyon implantasyonu sırasında kirlenme potansiyelinin azaltılmasına da yardımcı olabilir.
Tungsten teli, normal iyon implantasyon koşulları altında deformasyona karşı dirençli kılan yüksek erime noktası ve mükemmel mekanik özellikleriyle bilinir. Bununla birlikte, yüksek enerjili iyon bombardımanı ve iyon implantasyonu sırasında üretilen ısı, özellikle süreç parametreleri dikkatli bir şekilde kontrol edilmezse, zamanla bozulmaya neden olabilir.
İyon ışınının yoğunluğu ve süresi ile tungsten telin maruz kaldığı sıcaklık ve gerilim seviyeleri gibi faktörlerin tümü deformasyon potansiyeline katkıda bulunabilir. Ek olarak, tungsten telindeki herhangi bir yabancı madde veya kusur, deformasyona karşı hassasiyeti artıracaktır.
Deformasyon riskini azaltmak için proses parametreleri dikkatlice izlenmeli ve kontrol edilmeli, tungsten filamanının saflığı ve kalitesi sağlanmalı ve iyon implantasyon ekipmanı için uygun bakım ve inceleme protokolleri uygulanmalıdır. Tungsten telin durumunu ve performansını düzenli olarak değerlendirmek, herhangi bir bozulma belirtisinin tespit edilmesine ve gerektiğinde düzeltici önlem alınmasına yardımcı olabilir.
