Mga target ng sputteray mga materyales na ginagamit upang magdeposito ng mga manipis na pelikula sa mga substrate sa panahon ng proseso ng physical vapor deposition (PVD).Ang target na materyal ay binomba ng mga high-energy ions, na nagiging sanhi ng paglabas ng mga atom mula sa target na ibabaw.Ang mga na-spray na atom na ito ay idineposito sa isang substrate, na bumubuo ng isang manipis na pelikula.Ang mga sputtering target ay karaniwang ginagamit sa paggawa ng mga semiconductor, solar cell at iba pang mga electronic device.Ang mga ito ay karaniwang gawa sa mga metal, haluang metal o mga compound na pinili batay sa nais na mga katangian ng idineposito na pelikula.

Ang proseso ng sputtering ay apektado ng ilang mga parameter, kabilang ang:

1. Sputtering power: Ang dami ng power na inilapat sa panahon ng sputtering process ay makakaapekto sa enerhiya ng sputtered ions, at sa gayon ay makakaapekto sa sputtering rate.

2. Sputtering gas pressure: Ang presyon ng sputtering gas sa chamber ay nakakaapekto sa momentum transfer ng sputtered ions, sa gayon ay nakakaapekto sa sputtering rate at film performance.

3. Mga target na katangian: Ang pisikal at kemikal na mga katangian ng sputtering target, tulad ng komposisyon nito, katigasan, punto ng pagkatunaw, atbp., ay maaaring makaapekto sa proseso ng sputtering at ang pagganap ng idinepositong pelikula.

4. Ang distansya sa pagitan ng target at ang substrate: Ang distansya sa pagitan ng sputtering target at ang substrate ay makakaapekto sa tilapon at enerhiya ng mga sputtered atoms, sa gayon ay nakakaapekto sa deposition rate at pagkakapareho ng pelikula.

5. Power density: Ang power density na inilapat sa target na ibabaw ay nakakaapekto sa sputtering rate at sa kahusayan ng sputtering process.

Sa pamamagitan ng maingat na pagkontrol at pag-optimize sa mga parameter na ito, ang proseso ng sputtering ay maaaring maiangkop upang makamit ang ninanais na mga katangian ng pelikula at mga rate ng deposition.