China High purity titanium sputtering target para sa vacuum coating Manufacturer at Supplier

High purity titanium sputtering target para sa vacuum coating

Maikling Paglalarawan:

Ginagamit ang mga target ng titanium sputtering sa proseso ng physical vapor deposition (PVD) upang magdeposito ng mga manipis na pelikula ng titanium sa mga substrate. Ginawa mula sa high-purity na titanium, ang mga target na ito ay ginagamit sa mga application tulad ng semiconductor manufacturing, thin film deposition ng electronic at optical coatings, at surface engineering.

Magpadala ng email sa amin I-download bilang PDF

Detalye ng Produkto

Mga Tag ng Produkto

Ano ang sputtering target na materyal?

Ang mga target ng sputter ay mga high-purity na materyales na ginagamit sa mga proseso ng physical vapor deposition (PVD), partikular na ang sputtering technology. Ang mga materyales na ito ay ginagamit upang bumuo ng mga manipis na pelikula sa mga substrate sa iba't ibang industriya, kabilang ang pagmamanupaktura ng semiconductor, optical coatings, at thin film deposition para sa mga elektronikong device.

Ang mga materyal na target ng sputter ay maaaring gawin mula sa iba't ibang elemento at compound, kabilang ang mga metal, alloys, oxides at nitride. Ang pagpili ng sputter target na materyal ay depende sa mga partikular na katangian na kinakailangan para sa manipis na film coating, tulad ng electrical conductivity, optical properties, tigas at chemical resistance.

Kasama sa mga karaniwang sputtering target ang mga metal gaya ng titanium, aluminum at copper, pati na rin ang mga compound gaya ng indium tin oxide (ITO) at iba't ibang metal oxide. Ang pagpili ng naaangkop na sputtering target na materyal ay kritikal sa pagkamit ng ninanais na mga katangian at pagganap ng manipis na film coatings.

Anong laki ng sputtering target?

Ang mga target ng sputtering ay may iba't ibang laki depende sa mga partikular na kinakailangan ng proseso ng thin film deposition at sputtering equipment. Ang laki ng sputtering target ay maaaring mula sa ilang sentimetro hanggang sampu-sampung sentimetro ang lapad, at ang kapal ay maaari ding mag-iba.

Ang laki ng sputtering target ay tinutukoy ng mga salik tulad ng laki ng substrate na pahiran, ang configuration ng sputtering system, at ang gustong deposition rate at pagkakapareho. Bukod pa rito, ang laki ng sputtering target ay maaaring maapektuhan ng mga partikular na kinakailangan ng thin film application, gaya ng lugar na bahiran at pangkalahatang mga parameter ng proseso.

Sa huli, ang laki ng sputter target ay pinili upang matiyak ang mahusay at pare-parehong deposition ng pelikula sa substrate, na nakakatugon sa mga partikular na pangangailangan ng proseso ng manipis na film coating sa paggawa ng semiconductor, optical coatings at iba pang mga kaugnay na aplikasyon.

Paano ko madaragdagan ang aking sputtering rate?

Mayroong ilang mga paraan upang mapataas ang rate ng sputtering sa isang proseso ng sputtering:

1. Power at Pressure Optimization: Ang pagsasaayos sa mga parameter ng power at pressure sa sputtering system ay maaaring makaapekto sa sputtering rate. Ang pagpapataas ng kapangyarihan at pag-optimize ng mga kondisyon ng presyon ay maaaring mapahusay ang sputtering rate, na humahantong sa mas mabilis na pagdeposito ng manipis na pelikula.

2. Target na Materyal at Geometry: Ang paggamit ng mga sputtering target na may na-optimize na komposisyon ng materyal at geometry ay maaaring mapabuti ang sputtering rate. Maaaring mapahusay ng mataas na kalidad at mahusay na disenyong mga target ng sputtering ang kahusayan sa sputtering at humantong sa mas mataas na mga rate ng pag-deposito.

3. Paghahanda ng Target na Ibabaw: Ang wastong paglilinis at pagkondisyon ng sputtering target surface ay maaaring mag-ambag sa pagtaas ng mga rate ng sputtering. Ang pagtiyak na ang target na ibabaw ay libre mula sa mga kontaminant at ang mga oxide ay maaaring mapabuti ang kahusayan sa sputtering.

4. Substrate Temperatura: Ang pagkontrol sa temperatura ng substrate ay maaaring makaapekto sa sputtering rate. Sa ilang mga kaso, ang pagtaas ng temperatura ng substrate sa loob ng isang partikular na hanay ay maaaring humantong sa pagtaas ng mga rate ng sputtering at pinahusay na kalidad ng pelikula.

5. Daloy at Komposisyon ng Gas: Ang pag-optimize ng daloy ng gas at komposisyon sa silid ng sputtering ay maaaring makaapekto sa rate ng sputtering. Ang pagsasaayos sa mga rate ng daloy ng gas at paggamit ng naaangkop na sputtering gas mixtures ay maaaring mapahusay ang kahusayan sa proseso ng sputtering.

Sa pamamagitan ng maingat na pagsasaalang-alang sa mga salik na ito at pag-optimize sa mga parameter ng proseso ng sputtering, posibleng pataasin ang rate ng sputtering at pagbutihin ang pangkalahatang kahusayan ng thin film deposition sa mga sputtering application.