Ҳадафҳои пошхӯрӣмаводест, ки барои гузоштани плёнкаҳои тунук ба субстратҳо ҳангоми таҳшиншавии буғи физикӣ (PVD) истифода мешаванд. Маводи мақсаднок бо ионҳои энергияи баланд бомбаборон карда мешавад, ки атомҳо аз сатҳи ҳадаф хориҷ карда мешаванд. Ин атомҳои пошидашуда пас аз он ба субстрат ҷойгир карда, як филми тунукро ташкил медиҳанд. Ҳадафҳои пошидан одатан дар истеҳсоли нимноқилҳо, ҳуҷайраҳои офтобӣ ва дигар дастгоҳҳои электронӣ истифода мешаванд. Онҳо одатан аз металлҳо, хӯлаҳо ё пайвастагиҳо сохта мешаванд, ки дар асоси хосиятҳои дилхоҳи филми гузошташуда интихоб карда мешаванд.
Раванди пошидан ба якчанд параметрҳо таъсир мерасонад, аз ҷумла:
1. Қувваи пошидан: Миқдори қуввае, ки дар ҷараёни пошидан истифода мешавад, ба энергияи ионҳои пошида таъсир мерасонад ва ба ин васила ба суръати пошидан таъсир мерасонад.
2. Фишори гази пошидан: Фишори гази пошидан дар камера ба интиқоли импулси ионҳои пошида таъсир мерасонад ва ба ин васила ба суръати пошидан ва иҷрои филм таъсир мерасонад.
3. Хусусиятҳои мақсаднок: Хусусиятҳои физикӣ ва кимиёвии ҳадафи пошидан, аз қабили таркиб, сахтӣ, нуқтаи обшавӣ ва ғайра, метавонанд ба раванди пошидан ва иҷрои филми гузошташуда таъсир расонанд.
4. Масофаи байни ҳадаф ва субстрат: Масофаи байни ҳадафи пошидан ва субстрат ба траектория ва энергияи атомҳои пошида таъсир мерасонад ва ба ин васила ба суръати таҳшиншавӣ ва якрангии филм таъсир мерасонад.
5. Зичии барқ: Зичии нерӯе, ки ба сатҳи ҳадаф истифода мешавад, ба суръати пошидан ва самаранокии раванди пошидан таъсир мерасонад.
Бодиққат назорат ва оптимизатсия кардани ин параметрҳо, раванди пошиданро метавон барои ба даст овардани хосиятҳои дилхоҳи филм ва суръати таҳшинсозӣ мутобиқ кард.
Вақти фиристодан: июн-13-2024