Ҳадафи пошидани титани тозагии баланд барои пӯшиши вакуумӣ
Ҳадафҳои пошидан маводи тозагии баланд мебошанд, ки дар равандҳои таҳшиншавии буғи ҷисмонӣ (PVD), махсусан технологияи пошидан истифода мешаванд. Ин маводҳо барои ташаккули филмҳои тунук дар субстратҳо дар соҳаҳои гуногун, аз ҷумла истеҳсоли нимноқилҳо, рӯйпӯшҳои оптикӣ ва таҳшин кардани филми тунук барои дастгоҳҳои электронӣ истифода мешаванд.
Маводҳои мақсадноки пошидан мумкин аст аз элементҳо ва пайвастагиҳои гуногун, аз ҷумла металлҳо, хӯлаҳо, оксидҳо ва нитридҳо сохта шаванд. Интихоби маводи мавриди ҳадафи пошидан аз хосиятҳои мушаххасе, ки барои рӯйпӯши лоғар лозим аст, вобаста аст, ба монанди гузарониши барқ, хосиятҳои оптикӣ, сахтӣ ва муқовимати кимиёвӣ.
Ҳадафҳои маъмули пошидан аз металлҳо, аз қабили титан, алюминий ва мис, инчунин пайвастагиҳо ба монанди оксиди қалъа (ITO) ва оксидҳои гуногуни металлӣ иборатанд. Интихоби маводи мавриди ҳадафи пошидани мувофиқ барои ноил шудан ба хусусиятҳои дилхоҳ ва иҷрои пӯшишҳои лоғар муҳим аст.
Ҳадафҳои пошидан вобаста ба талаботи мушаххаси раванди таҳшинсозии филми тунук ва таҷҳизоти пошидан ба андозаҳои гуногун меоянд. Андозаи ҳадафи пошидан метавонад аз чанд сантиметр то даҳҳо сантиметр бошад ва ғафсӣ низ метавонад гуногун бошад.
Андозаи ҳадафи пошидан аз рӯи омилҳо, ба монанди андозаи субстрат, ки пӯшонида мешавад, конфигуратсияи системаи пошидан ва суръати дилхоҳи таҳшиншавӣ ва якрангӣ муайян карда мешавад. Илова бар ин, ба андозаи ҳадафи пошидан метавонад аз талаботи мушаххаси замимаи филми тунук, ба монанди майдони пӯшидашаванда ва параметрҳои умумии раванд таъсир расонад.
Дар ниҳоят, андозаи ҳадафи пошхӯрӣ барои таъмин кардани ҷойгиркунии самарабахш ва якхелаи филм ба субстрат интихоб карда мешавад, ки эҳтиёҷоти мушаххаси раванди пӯшиши филми тунук дар истеҳсоли нимноқилҳо, қабатҳои оптикӣ ва дигар барномаҳои марбутаро қонеъ гардонад.
Якчанд роҳҳо барои баланд бардоштани суръати пошидан дар раванди пошидан вуҷуд доранд:
1. Оптимизатсияи нерӯ ва фишор: Танзими параметрҳои қудрат ва фишор дар системаи пошидан метавонад ба суръати пошидан таъсир расонад. Баланд бардоштани қувват ва оптимизатсияи шароити фишор метавонад суръати пошиданро баланд бардорад, ки боиси тезтар рехтани филми тунук мегардад.
2. Мавод ва геометрияи мақсаднок: Истифодаи ҳадафҳои пошидан бо таркиби моддӣ ва геометрияи оптимизатсияшуда метавонад суръати пошиданро беҳтар кунад. Ҳадафҳои баландсифат ва хуб тарҳрезишудаи пошидани пошидан метавонанд самаранокии пошиданро баланд бардоранд ва боиси баланд шудани сатҳи таҳшиншавӣ шаванд.
3. Омода кардани сатҳи ҳадаф: Тозакунии дуруст ва кондитсионерии сатҳи ҳадафи пошидан метавонад ба афзоиши сатҳи пошидан мусоидат кунад. Таъмин кардани сатҳи ҳадаф аз ифлоскунандаҳо ва оксидҳо метавонад самаранокии пошиданро беҳтар кунад.
4. Ҳарорати зеризаминӣ: Назорати ҳарорати субстрат метавонад ба суръати пошидан таъсир расонад. Дар баъзе мавридҳо, баланд бардоштани ҳарорати субстрат дар доираи муайян метавонад ба баланд шудани суръати пошидан ва беҳтар шудани сифати филм оварда расонад.
5. Ҷараёни газ ва таркиб: Оптимизатсияи ҷараёни газ ва таркиби он дар камераи пошидан метавонад ба суръати пошидан таъсир расонад. Танзими суръати гардиши газ ва истифодаи омехтаҳои мувофиқи гази пошидан метавонад самаранокии раванди пошиданро баланд бардорад.
Бо назардошти бодиққат ин омилҳо ва оптимизатсияи параметрҳои раванди пошидан мумкин аст, ки суръати пошиданро баланд бардоранд ва самаранокии умумии таҳшиншавии филми тунукро дар барномаҳои пошидан беҳтар кард.
Wechat: 15138768150
Сайтҳо: +86 15838517324
E-mail : jiajia@forgedmoly.com
