స్పుటర్ లక్ష్యాలుభౌతిక ఆవిరి నిక్షేపణ (PVD) ప్రక్రియలో సన్నని ఫిల్మ్‌లను సబ్‌స్ట్రేట్‌లపై జమ చేయడానికి ఉపయోగించే పదార్థాలు.లక్ష్య పదార్థం అధిక-శక్తి అయాన్లతో బాంబు దాడి చేయబడుతుంది, దీని వలన లక్ష్య ఉపరితలం నుండి అణువులు బయటకు వస్తాయి.ఈ స్ప్రే చేయబడిన పరమాణువులు ఒక ఉపరితలంపై నిక్షిప్తం చేయబడి, సన్నని పొరను ఏర్పరుస్తాయి.సెమీకండక్టర్లు, సౌర ఘటాలు మరియు ఇతర ఎలక్ట్రానిక్ పరికరాల ఉత్పత్తిలో స్పుట్టరింగ్ లక్ష్యాలను సాధారణంగా ఉపయోగిస్తారు.అవి సాధారణంగా లోహాలు, మిశ్రమాలు లేదా సమ్మేళనాలతో తయారు చేయబడతాయి, ఇవి డిపాజిట్ చేయబడిన ఫిల్మ్ యొక్క కావలసిన లక్షణాల ఆధారంగా ఎంపిక చేయబడతాయి.

స్పుట్టరింగ్ ప్రక్రియ అనేక పారామితులచే ప్రభావితమవుతుంది, వీటిలో:

1. స్పుట్టరింగ్ శక్తి: స్పుట్టరింగ్ ప్రక్రియలో వర్తించే శక్తి మొత్తం స్పుట్టరింగ్ అయాన్ల శక్తిని ప్రభావితం చేస్తుంది, తద్వారా స్పుట్టరింగ్ రేటును ప్రభావితం చేస్తుంది.

2. గ్యాస్ ప్రెజర్ స్పుట్టరింగ్: ఛాంబర్‌లోని స్పుట్టరింగ్ గ్యాస్ పీడనం స్పుట్టర్ అయాన్ల మొమెంటం బదిలీని ప్రభావితం చేస్తుంది, తద్వారా స్పుట్టరింగ్ రేటు మరియు ఫిల్మ్ పనితీరును ప్రభావితం చేస్తుంది.

3. లక్ష్య లక్షణాలు: స్పుట్టరింగ్ లక్ష్యం యొక్క భౌతిక మరియు రసాయన లక్షణాలు, దాని కూర్పు, కాఠిన్యం, ద్రవీభవన స్థానం మొదలైనవి, స్పుట్టరింగ్ ప్రక్రియ మరియు డిపాజిట్ చేయబడిన ఫిల్మ్ పనితీరును ప్రభావితం చేయవచ్చు.

4. లక్ష్యం మరియు సబ్‌స్ట్రేట్ మధ్య దూరం: స్పుట్టరింగ్ టార్గెట్ మరియు సబ్‌స్ట్రేట్ మధ్య దూరం చిమ్మే పరమాణువుల పథం మరియు శక్తిని ప్రభావితం చేస్తుంది, తద్వారా ఫిల్మ్ నిక్షేపణ రేటు మరియు ఏకరూపతను ప్రభావితం చేస్తుంది.

5. శక్తి సాంద్రత: లక్ష్య ఉపరితలంపై వర్తించే శక్తి సాంద్రత స్పుట్టరింగ్ రేటు మరియు స్పుట్టరింగ్ ప్రక్రియ యొక్క సామర్థ్యాన్ని ప్రభావితం చేస్తుంది.

ఈ పారామితులను జాగ్రత్తగా నియంత్రించడం మరియు ఆప్టిమైజ్ చేయడం ద్వారా, కావలసిన ఫిల్మ్ ప్రాపర్టీలు మరియు డిపాజిషన్ రేట్‌లను సాధించడానికి స్పుట్టరింగ్ ప్రక్రియను రూపొందించవచ్చు.