Lipheo tsa SputterKe lisebelisoa tse sebelisetsoang ho beha lifilimi tse tšesaane holim'a li-substrates nakong ea tšebetso ea 'mele ea ho beha mouoane (PVD). Lintho tse shebiloeng li hlasetsoe ka li-ion tse nang le matla a phahameng, e leng se etsang hore liathomo li ntšoe sebakeng seo ho shebiloeng ho sona. Liathomo tsena tse fafalitsoeng li tšeloa holim'a substrate, ho etsa filimi e tšesaane. Lipheo tsa sputtering li atisa ho sebelisoa ha ho etsoa li-semiconductors, lisele tsa letsatsi le lisebelisoa tse ling tsa elektronike. Hangata li entsoe ka litšepe, li-alloys kapa metsoako e khethiloeng ho latela thepa e lakatsehang ea filimi e behiloeng.

Ts'ebetso ea sputtering e angoa ke liparamente tse 'maloa, ho kenyelletsa:

1. Matla a ho fafatsa: Boholo ba matla a sebelisoang nakong ea ts'ebetso ea ho fafatsa bo tla ama matla a li-ion tse phatlohileng, kahoo a ama lebelo la ho sputtering.

2. Khatello ea khase ea khase: Khatello ea khase ea sputtering ka kamoreng e ama phetisetso e potlakileng ea li-ion tse sputtered, ka tsela eo e ama lebelo la sputtering le ts'ebetso ea filimi.

3. Lintho tse reriloeng: Lintho tsa 'mele le tsa lik'hemik'hale tsa sepheo sa sputtering, tse kang ho hlophisoa ha eona, ho thatafala, ho qhibiliha, joalo-joalo, li ka ama ts'ebetso ea sputtering le ts'ebetso ea filimi e behiloeng.

4. Sebaka se pakeng tsa sepheo le substrate: Sebaka se pakeng tsa sepheo sa sputtering le substrate se tla ama tsela le matla a liathomo tse hlasetsoeng, kahoo li ama sekhahla sa ho behoa le ho tšoana ha filimi.

5. Matla a matla: Matla a matla a sebelisoang sebakeng se lebisitsoeng a ama lebelo la ho sputtering le katleho ea ts'ebetso ea sputtering.

Ka ho laola le ho ntlafatsa liparamente tsena ka hloko, ts'ebetso ea sputtering e ka hlophisoa ho fihlela thepa e lakatsehang ea filimi le litefiso tsa deposition.