Sputter tarčeso materiali, ki se uporabljajo za nanašanje tankih filmov na substrate med postopkom fizičnega naparjevanja (PVD).Ciljni material je bombardiran z visokoenergijskimi ioni, kar povzroči izmet atomov s ciljne površine.Ti razpršeni atomi se nato nanesejo na podlago in tvorijo tanek film.Tarče za razprševanje se običajno uporabljajo v proizvodnji polprevodnikov, sončnih celic in drugih elektronskih naprav.Običajno so izdelani iz kovin, zlitin ali spojin, ki so izbrane glede na želene lastnosti nanesenega filma.

Na postopek brizganja vpliva več parametrov, vključno z:

1. Moč razprševanja: Količina moči, uporabljene med postopkom razprševanja, bo vplivala na energijo razpršenih ionov in s tem na hitrost razprševanja.

2. Tlak plina za razprševanje: Tlak plina za razprševanje v komori vpliva na prenos zagona razpršenih ionov, s čimer vpliva na hitrost razprševanja in učinkovitost filma.

3. Lastnosti tarče: Fizikalne in kemijske lastnosti tarče za brizganje, kot so njena sestava, trdota, tališče itd., lahko vplivajo na postopek brizganja in učinkovitost nanesenega filma.

4. Razdalja med tarčo in substratom: Razdalja med tarčo za razprševanje in substratom bo vplivala na trajektorijo in energijo razpršenih atomov, s čimer bo vplivala na hitrost nanašanja in enakomernost filma.

5. Gostota moči: Gostota moči, ki se nanaša na ciljno površino, vpliva na hitrost razprševanja in učinkovitost postopka razprševanja.

S skrbnim nadzorom in optimizacijo teh parametrov je mogoče prilagoditi postopek naprševanja za doseganje želenih lastnosti filma in hitrosti nanašanja.