Kitajska Proizvajalec in dobavitelj tarč za naprševanje iz titana visoke čistosti za vakuumsko nanašanje

Tarča za naprševanje iz titana visoke čistosti za vakuumsko nanašanje

Kratek opis:

Titanove tarče za naprševanje se uporabljajo v postopku fizičnega naparjevanja (PVD) za nanašanje tankih plasti titana na podlage. Te tarče so izdelane iz titana visoke čistosti in se uporabljajo v aplikacijah, kot je proizvodnja polprevodnikov, nanašanje tankih filmov elektronskih in optičnih premazov ter površinsko inženirstvo.

Pošljite nam e-pošto Prenesi kot PDF

Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

Kaj je ciljni material za razprševanje?

Tarče za razprševanje so materiali visoke čistosti, ki se uporabljajo v postopkih fizičnega naparjevanja (PVD), zlasti pri tehnologiji razprševanja. Ti materiali se uporabljajo za oblikovanje tankih filmov na podlagah v različnih industrijah, vključno s proizvodnjo polprevodnikov, optičnih premazov in nanašanjem tankih filmov za elektronske naprave.

Materiali za razpršilne tarče so lahko izdelani iz različnih elementov in spojin, vključno s kovinami, zlitinami, oksidi in nitridi. Izbira tarčnega materiala za naprševanje je odvisna od posebnih lastnosti, potrebnih za tankoslojni premaz, kot so električna prevodnost, optične lastnosti, trdota in kemična odpornost.

Običajne tarče za razprševanje vključujejo kovine, kot so titan, aluminij in baker, ter spojine, kot so indij kositrov oksid (ITO) in različni kovinski oksidi. Izbira ustreznega ciljnega materiala za naprševanje je ključnega pomena za doseganje želenih lastnosti in učinkovitosti tankoslojnih premazov.

Kakšna je velikost tarče za razprševanje?

Tarče za razprševanje so na voljo v različnih velikostih, odvisno od posebnih zahtev postopka nanašanja tankega filma in opreme za razprševanje. Velikost tarče za razprševanje je lahko od nekaj centimetrov do več deset centimetrov v premeru, variira pa lahko tudi debelina.

Velikost tarče za razprševanje je določena z dejavniki, kot so velikost substrata, ki ga je treba premazati, konfiguracija sistema za razprševanje ter želena stopnja in enakomernost nanašanja. Poleg tega lahko na velikost tarče za razprševanje vplivajo posebne zahteve za uporabo tankega filma, kot so površina, ki jo je treba premazati, in splošni parametri postopka.

Končno je velikost razpršilne tarče izbrana tako, da zagotovi učinkovito in enotno nanašanje filma na substrat, ki ustreza posebnim potrebam postopka tankoslojnega premazovanja v proizvodnji polprevodnikov, optičnih premazov in drugih sorodnih aplikacijah.

Kako lahko povečam stopnjo škropljenja?

Obstaja več načinov za povečanje hitrosti brizganja v procesu brizganja:

1. Optimizacija moči in tlaka: Prilagajanje parametrov moči in tlaka v sistemu za brizganje lahko vpliva na hitrost brizganja. Povečanje moči in optimizacija pogojev tlaka lahko poveča hitrost razprševanja, kar vodi do hitrejšega nanašanja tankega filma.

2. Tarčni material in geometrija: Uporaba tarč za brizganje z optimizirano sestavo materiala in geometrijo lahko izboljša hitrost brizganja. Visokokakovostne, dobro zasnovane tarče za razprševanje lahko povečajo učinkovitost razprševanja in vodijo do višjih stopenj nanašanja.

3. Priprava tarčne površine: Pravilno čiščenje in kondicioniranje tarčne površine za razprševanje lahko prispeva k večji stopnji razprševanja. Zagotavljanje, da je ciljna površina brez kontaminantov in oksidov, lahko izboljša učinkovitost brizganja.

4. Temperatura podlage: Nadzor temperature podlage lahko vpliva na hitrost razprševanja. V nekaterih primerih lahko zvišanje temperature podlage v določenem območju povzroči povečano hitrost naprševanja in izboljšano kakovost filma.

5. Pretok in sestava plina: Optimizacija pretoka in sestave plina v komori za razprševanje lahko vpliva na hitrost razprševanja. Prilagoditev hitrosti pretoka plina in uporaba ustreznih mešanic plinov za razprševanje lahko povečata učinkovitost postopka razprševanja.

S skrbnim upoštevanjem teh dejavnikov in optimizacijo parametrov postopka naprševanja je mogoče povečati hitrost naprševanja in izboljšati splošno učinkovitost nanašanja tankega filma pri aplikacijah naprševanja.