Rozprašovacie terčesú materiály používané na nanášanie tenkých vrstiev na substráty počas procesu fyzikálnej depozície z pár (PVD).Cieľový materiál je bombardovaný vysokoenergetickými iónmi, čo spôsobuje vyvrhovanie atómov z povrchu cieľa.Tieto rozprášené atómy sa potom nanesú na substrát a vytvoria tenký film.Naprašovacie terče sa bežne používajú pri výrobe polovodičov, solárnych článkov a iných elektronických zariadení.Zvyčajne sú vyrobené z kovov, zliatin alebo zlúčenín, ktoré sa vyberajú na základe požadovaných vlastností naneseného filmu.

Proces naprašovania ovplyvňuje niekoľko parametrov, vrátane:

1. Sila naprašovania: Množstvo energie aplikovanej počas procesu naprašovania ovplyvní energiu naprašovaných iónov, čím ovplyvní rýchlosť naprašovania.

2. Tlak rozprašovacieho plynu: Tlak rozprašovacieho plynu v komore ovplyvňuje prenos hybnosti rozprašovaných iónov, čím ovplyvňuje rýchlosť rozprašovania a výkonnosť filmu.

3. Vlastnosti terča: Fyzikálne a chemické vlastnosti terča, ako je jeho zloženie, tvrdosť, teplota topenia atď., môžu ovplyvniť proces naprašovania a výkonnosť naneseného filmu.

4. Vzdialenosť medzi terčom a substrátom: Vzdialenosť medzi terčom a substrátom ovplyvní trajektóriu a energiu naprašovaných atómov, čím ovplyvní rýchlosť nanášania a rovnomernosť filmu.

5. Hustota výkonu: Hustota výkonu aplikovaná na cieľový povrch ovplyvňuje rýchlosť naprašovania a účinnosť procesu naprašovania.

Starostlivým riadením a optimalizáciou týchto parametrov možno proces naprašovania prispôsobiť tak, aby sa dosiahli požadované vlastnosti filmu a rýchlosti nanášania.