Titánový naprašovací terč s vysokou čistotou pre vákuové nanášanie
Naprašovacie terče sú vysoko čisté materiály používané v procesoch fyzikálneho naparovania (PVD), konkrétne v technológii naprašovania.Tieto materiály sa používajú na vytváranie tenkých vrstiev na substrátoch v rôznych priemyselných odvetviach vrátane výroby polovodičov, optických povlakov a nanášania tenkých vrstiev pre elektronické zariadenia.
Materiály rozprašovacích terčov môžu byť vyrobené z rôznych prvkov a zlúčenín vrátane kovov, zliatin, oxidov a nitridov.Výber materiálu rozprašovacej elektrody závisí od špecifických vlastností požadovaných pre tenký filmový povlak, ako je elektrická vodivosť, optické vlastnosti, tvrdosť a chemická odolnosť.
Bežné naprašovacie terče zahŕňajú kovy, ako je titán, hliník a meď, ako aj zlúčeniny, ako je oxid india a cínu (ITO) a rôzne oxidy kovov.Výber vhodného materiálu naprašovacieho terča je rozhodujúci pre dosiahnutie požadovaných charakteristík a výkonu tenkých filmových povlakov.
![titánový rozprašovací terč (2)](https://www.forgedmoly.com/uploads/02fe208a.jpg)
Naprašovacie terče sa dodávajú v rôznych veľkostiach v závislosti od špecifických požiadaviek procesu nanášania tenkých vrstiev a zariadenia na naprašovanie.Veľkosť rozprašovacieho terča sa môže pohybovať od niekoľkých centimetrov do desiatok centimetrov v priemere a hrúbka sa môže tiež meniť.
Veľkosť naprašovacej elektrody je určená faktormi, ako je veľkosť substrátu, ktorý sa má potiahnuť, konfigurácia naprašovacieho systému a požadovaná rýchlosť nanášania a rovnomernosť.Okrem toho môže byť veľkosť naprašovacieho terča ovplyvnená špecifickými požiadavkami aplikácie tenkého filmu, ako je plocha, ktorá sa má potiahnuť, a celkové parametre procesu.
V konečnom dôsledku sa veľkosť rozprašovacej elektrody vyberá tak, aby sa zabezpečilo účinné a rovnomerné nanášanie filmu na substrát, čo spĺňa špecifické potreby procesu poťahovania tenkým filmom pri výrobe polovodičov, optických povlakov a iných súvisiacich aplikáciách.
![titánový rozprašovací terč (3)](https://www.forgedmoly.com/uploads/89f0d413.jpg)
Existuje niekoľko spôsobov, ako zvýšiť rýchlosť naprašovania v procese naprašovania:
1. Optimalizácia výkonu a tlaku: Úprava parametrov výkonu a tlaku v systéme naprašovania môže ovplyvniť rýchlosť naprašovania.Zvýšenie výkonu a optimalizácia tlakových podmienok môže zvýšiť rýchlosť rozprašovania, čo vedie k rýchlejšiemu ukladaniu tenkého filmu.
2. Materiál terča a geometria: Použitie naprašovacích terčov s optimalizovaným zložením materiálu a geometriou môže zlepšiť rýchlosť naprašovania.Vysokokvalitné, dobre navrhnuté terče naprašovania môžu zvýšiť účinnosť naprašovania a viesť k vyšším rýchlostiam nanášania.
3. Príprava povrchu terča: Správne čistenie a úprava povrchu terča naprašovaním môže prispieť k zvýšeniu rýchlosti naprašovania.Zabezpečenie, že povrch terča neobsahuje nečistoty a oxidy, môže zlepšiť účinnosť rozprašovania.
4. Teplota substrátu: Regulácia teploty substrátu môže ovplyvniť rýchlosť naprašovania.V niektorých prípadoch môže zvýšenie teploty substrátu v určitom rozsahu viesť k zvýšeniu rýchlosti naprašovania a zlepšeniu kvality filmu.
5. Tok plynu a zloženie: Optimalizácia toku a zloženia plynu v naprašovacej komore môže ovplyvniť rýchlosť naprašovania.Úprava prietokových rýchlostí plynu a použitie vhodných zmesí rozprašovacích plynov môže zvýšiť účinnosť procesu rozprašovania.
Starostlivým zvážením týchto faktorov a optimalizáciou parametrov procesu naprašovania je možné zvýšiť rýchlosť naprašovania a zlepšiť celkovú účinnosť nanášania tenkých vrstiev v aplikáciách naprašovania.
![titánový rozprašovací terč](https://www.forgedmoly.com/uploads/e254ba33.jpg)
Wechat: 15138768150
WhatsApp: +86 15838517324
E-mail : jiajia@forgedmoly.com