Čína Titánový naprašovací terč vysokej čistoty pre vákuové nanášanie Výrobca a dodávateľ

Titánový naprašovací terč s vysokou čistotou pre vákuové nanášanie

Krátky popis:

Titánové naprašovacie terče sa používajú v procese fyzikálneho naparovania (PVD) na nanášanie tenkých vrstiev titánu na substráty. Tieto terče vyrobené z vysoko čistého titánu sa používajú v aplikáciách, ako je výroba polovodičov, nanášanie tenkých vrstiev elektronických a optických povlakov a povrchové inžinierstvo.

Pošlite nám e-mail Stiahnuť ako PDF

Detail produktu

Štítky produktu

Čo je materiál naprašovacieho terča?

Naprašovacie terče sú vysoko čisté materiály používané v procesoch fyzikálneho naparovania (PVD), konkrétne v technológii naprašovania. Tieto materiály sa používajú na vytváranie tenkých vrstiev na substrátoch v rôznych odvetviach, vrátane výroby polovodičov, optických povlakov a nanášania tenkých vrstiev pre elektronické zariadenia.

Materiály rozprašovacích terčov môžu byť vyrobené z rôznych prvkov a zlúčenín vrátane kovov, zliatin, oxidov a nitridov. Výber materiálu rozprašovacej elektrody závisí od špecifických vlastností požadovaných pre tenký filmový povlak, ako je elektrická vodivosť, optické vlastnosti, tvrdosť a chemická odolnosť.

Bežné naprašovacie terče zahŕňajú kovy, ako je titán, hliník a meď, ako aj zlúčeniny, ako je oxid india a cínu (ITO) a rôzne oxidy kovov. Výber vhodného materiálu rozprašovacej terče je rozhodujúci pre dosiahnutie požadovaných charakteristík a výkonu tenkých filmových povlakov.

Akú veľkosť má rozprašovací terč?

Naprašovacie terče sa dodávajú v rôznych veľkostiach v závislosti od špecifických požiadaviek procesu nanášania tenkých vrstiev a zariadenia na naprašovanie. Veľkosť rozprašovacieho terča sa môže pohybovať od niekoľkých centimetrov do desiatok centimetrov v priemere a hrúbka sa môže tiež meniť.

Veľkosť naprašovacej elektrody je určená faktormi, ako je veľkosť substrátu, ktorý sa má potiahnuť, konfigurácia naprašovacieho systému a požadovaná rýchlosť nanášania a rovnomernosť. Okrem toho môže byť veľkosť naprašovacej elektrody ovplyvnená špecifickými požiadavkami aplikácie tenkého filmu, ako je plocha, ktorá sa má potiahnuť, a celkové parametre procesu.

V konečnom dôsledku sa veľkosť rozprašovacej elektrody vyberá tak, aby sa zabezpečilo účinné a rovnomerné nanášanie filmu na substrát, čo spĺňa špecifické potreby procesu poťahovania tenkým filmom pri výrobe polovodičov, optických povlakov a iných súvisiacich aplikáciách.

Ako môžem zvýšiť rýchlosť rozprašovania?

Existuje niekoľko spôsobov, ako zvýšiť rýchlosť naprašovania v procese naprašovania:

1. Optimalizácia výkonu a tlaku: Úprava parametrov výkonu a tlaku v systéme naprašovania môže ovplyvniť rýchlosť naprašovania. Zvýšenie výkonu a optimalizácia tlakových podmienok môže zvýšiť rýchlosť rozprašovania, čo vedie k rýchlejšiemu ukladaniu tenkého filmu.

2. Materiál terča a geometria: Použitie naprašovacích terčov s optimalizovaným zložením materiálu a geometriou môže zlepšiť rýchlosť naprašovania. Vysokokvalitné, dobre navrhnuté terče naprašovania môžu zvýšiť účinnosť naprašovania a viesť k vyšším rýchlostiam nanášania.

3. Príprava povrchu terča: Správne čistenie a úprava povrchu terča naprašovaním môže prispieť k zvýšeniu rýchlosti naprašovania. Zabezpečenie, že povrch terča neobsahuje nečistoty a oxidy, môže zlepšiť účinnosť rozprašovania.

4. Teplota substrátu: Regulácia teploty substrátu môže ovplyvniť rýchlosť naprašovania. V niektorých prípadoch môže zvýšenie teploty substrátu v určitom rozsahu viesť k zvýšeniu rýchlosti naprašovania a zlepšeniu kvality filmu.

5. Tok plynu a zloženie: Optimalizácia toku a zloženia plynu v naprašovacej komore môže ovplyvniť rýchlosť naprašovania. Úprava prietokových rýchlostí plynu a použitie vhodných zmesí rozprašovacích plynov môže zvýšiť účinnosť procesu rozprašovania.

Starostlivým zvážením týchto faktorov a optimalizáciou parametrov procesu naprašovania je možné zvýšiť rýchlosť naprašovania a zlepšiť celkovú účinnosť nanášania tenkých vrstiev v aplikáciách naprašovania.