Вольфрамовые лодочки, используемые для испарения, обычно производятся с использованием процессов порошковой металлургии. Ниже приведены общие этапы изготовления вольфрамовой лодочки для испарения:

Выбор сырья: в качестве основного сырья для производства вольфрамовых лодочек выберите порошок металлического вольфрама высокой чистоты, обычно чистотой 99,95%. Высокая чистота обеспечивает минимальное загрязнение при испарении. Смешивание: Тщательно перемешайте вольфрамовый порошок с помощью специального оборудования для достижения однородной смеси и стабильных свойств материала. Уплотнение: смешанный вольфрамовый порошок помещается в форму и прикладывается высокое давление, обычно посредством холодного изостатического прессования (CIP) или одноосного прессования. В ходе этого процесса порошок уплотняется до плотной и однородной формы, напоминающей желаемую геометрию лодки. Предварительное спекание: уплотненные вольфрамовые детали предварительно спекаются при высоких температурах в контролируемой атмосфере, что позволяет частицам порошка сцепляться и образовывать твердую структуру повышенной прочности. Спекание: предварительно спеченные детали затем подвергаются высокотемпературному спеканию в вакууме или атмосфере водорода. Этот процесс еще больше уплотняет материал, удаляет остаточные поры и способствует росту зерен, в результате чего получается прочная и плотная вольфрамовая лодочка. Механическая обработка и отделка: после спекания вольфрамовая лодочка может подвергаться таким операциям механической обработки, как фрезерование, точение или шлифование, для достижения окончательных размеров, канавок и чистоты поверхности, необходимых для эффективного испарения материала в процессе испарения. Контроль качества: готовые вольфрамовые лодочки проверяются на точность размеров, целостность поверхности и чистоту материала, чтобы убедиться, что они соответствуют установленным требованиям для применений в области испарения.

На протяжении всего производственного процесса строгие меры контроля качества и мониторинг процесса имеют решающее значение для обеспечения соответствия вольфрамовой лодочки строгим требованиям процесса вакуумного осаждения. Полученная вольфрамовая лодочка способна противостоять высоким температурам и агрессивным средам, что делает ее подходящей для различных применений вакуумного испарения в различных отраслях.