Спуттерийн зорилтуудЭдгээр нь физик уурын хуримтлуулах (PVD) процессын үед нимгэн хальсыг субстрат дээр буулгахад ашигладаг материал юм.Зорилтот материалыг өндөр энергитэй ионуудаар бөмбөгдөж, атомуудыг зорилтот гадаргуугаас гадагшлуулахад хүргэдэг.Дараа нь эдгээр шүршсэн атомууд нь субстрат дээр хуримтлагдаж, нимгэн хальс үүсгэдэг.Хагас дамжуулагч, нарны зай болон бусад электрон төхөөрөмжүүдийг үйлдвэрлэхэд цацах зорилтуудыг ихэвчлэн ашигладаг.Тэдгээр нь ихэвчлэн металл, хайлш эсвэл нэгдлээс хийгдсэн байдаг бөгөөд тэдгээрийг хадгалсан хальсны хүссэн шинж чанарт үндэслэн сонгодог.

Шүрших үйл явцад хэд хэдэн параметр нөлөөлдөг, үүнд:

1. Шүрших хүч: Цус цацах процессын үед хэрэглэх хүч нь цацагдсан ионуудын энергид нөлөөлж, улмаар цацрах хурдад нөлөөлнө.

2. Шүрших хийн даралт: Камер дахь цацах хийн даралт нь цацагдсан ионуудын импульсийн дамжуулалтад нөлөөлж, улмаар цацрах хурд болон хальсны гүйцэтгэлд нөлөөлдөг.

3. Зорилтот шинж чанар: Цус цацах объектын найрлага, хатуулаг, хайлах цэг гэх мэт физик, химийн шинж чанарууд нь шүрших процесс болон хуримтлагдсан хальсны гүйцэтгэлд нөлөөлдөг.

4. Зорилтот ба субстратын хоорондох зай: Цус цацах объект ба субстратын хоорондох зай нь цацагдаж буй атомуудын замнал ба энергид нөлөөлж, улмаар хальсны хуримтлалын хурд, жигд байдалд нөлөөлнө.

5. Эрчим хүчний нягтрал: Зорилтот гадаргууд хэрэглэж буй эрчим хүчний нягт нь шүрших хурд болон шүрших үйл явцын үр ашигт нөлөөлдөг.

Эдгээр параметрүүдийг сайтар хянаж, оновчтой болгосноор шүрших процессыг хүссэн хальсны шинж чанар, хуримтлуулах хурдыг хангахад тохируулж болно.