Вакуум бүрэх зориулалттай өндөр цэвэршилттэй титан цацагч
Шүрших зорилтууд нь физик уурын хуримтлуулах (PVD) процесст, ялангуяа шүрших технологид ашиглагддаг өндөр цэвэршилттэй материал юм.Эдгээр материалыг хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл, оптик бүрээс, электрон төхөөрөмжид нимгэн хальсан тунадас гэх мэт янз бүрийн салбарт субстрат дээр нимгэн хальс үүсгэхэд ашигладаг.
Спуттерийн зорилтот материалыг металл, хайлш, исэл, нитрид зэрэг янз бүрийн элемент, нэгдлээс хийж болно.Цус цацах зорилтот материалын сонголт нь цахилгаан дамжуулах чанар, оптик шинж чанар, хатуулаг, химийн эсэргүүцэл зэрэг нимгэн хальсан бүрхүүлд шаардагдах онцлог шинж чанараас хамаарна.
Түгээлтийн нийтлэг зорилтод титан, хөнгөн цагаан, зэс зэрэг металлууд, мөн индий цагаан тугалганы исэл (ITO) болон төрөл бүрийн металлын исэл зэрэг нэгдлүүд орно.Нимгэн хальсан бүрхүүлийн хүссэн шинж чанар, гүйцэтгэлд хүрэхийн тулд шүрших тохиромжтой материалыг сонгох нь чухал юм.
Нимгэн хальсыг буулгах процесс болон шүрших төхөөрөмжийн тусгай шаардлагаас хамааран цацах зорилтууд нь янз бүрийн хэмжээтэй байдаг.Цус цацах объектын хэмжээ нь хэдэн см-ээс хэдэн арван см диаметртэй байж болох ба зузаан нь өөр өөр байж болно.
Цус цацах зорилтот хэмжээ нь бүрэх субстратын хэмжээ, шүрших системийн тохиргоо, хүссэн тунадасны хурд, жигд байдал зэрэг хүчин зүйлээр тодорхойлогддог.Нэмж дурдахад, цацах зорилтот хэмжээ нь нимгэн хальсны хэрэглээний тусгай шаардлага, тухайлбал бүрэх талбай, үйл явцын ерөнхий параметрүүд зэрэгт нөлөөлж болно.
Эцсийн эцэст, хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл, оптик бүрээс болон бусад холбогдох хэрэглээнд нимгэн хальсан бүрэх процессын тусгай хэрэгцээг хангахын тулд хальсыг субстрат дээр үр дүнтэй, жигд байрлуулахын тулд цацруулагчийн зорилтот хэмжээг сонгоно.
Шүрших явцад шүрших хурдыг нэмэгдүүлэх хэд хэдэн арга байдаг:
1. Хүч ба даралтыг оновчтой болгох: Цус цацах систем дэх хүч ба даралтын параметрүүдийг тохируулах нь шүрших хурдад нөлөөлж болно.Эрчим хүчийг нэмэгдүүлж, даралтын нөхцлийг оновчтой болгох нь шүрших хурдыг нэмэгдүүлж, нимгэн хальсыг хурдан хуримтлуулахад хүргэдэг.
2. Зорилтот материал ба геометр: Материалын бүтэц, геометрийг оновчтой болгосон шүрших зорилтуудыг ашиглах нь шүрших хурдыг сайжруулна.Өндөр чанартай, сайн боловсруулсан шүрших зорилтууд нь шүрших үр ашгийг дээшлүүлж, хуримтлуулах хурдыг нэмэгдүүлэхэд хүргэдэг.
3. Зорилтот гадаргууг бэлтгэх: Цус цацах зорилтот гадаргууг зөв цэвэрлэж, агааржуулах нь шүрших хурдыг нэмэгдүүлэхэд хувь нэмэр оруулна.Зорилтот гадаргууг бохирдуулагч, исэлдүүлэхгүй байлгах нь шүрших үр ашгийг дээшлүүлэх боломжтой.
4. Субстратын температур: Субстратын температурыг хянах нь шүрших хурдад нөлөөлж болно.Зарим тохиолдолд субстратын температурыг тодорхой хязгаарт нэмэгдүүлэх нь шүрших хурдыг нэмэгдүүлж, хальсны чанарыг сайжруулахад хүргэдэг.
5. Хийн урсгал ба найрлага: Шүрших камер дахь хийн урсгал болон найрлагыг оновчтой болгох нь шүрших хурдад нөлөөлдөг.Хийн урсгалын хурдыг тохируулах, шүрших хийн зохих хольцыг ашиглах нь цацах процессын үр ашгийг нэмэгдүүлэх боломжтой.
Эдгээр хүчин зүйлсийг анхааралтай авч үзэн, шүрших үйл явцын параметрүүдийг оновчтой болгосноор шүрших хурдыг нэмэгдүүлж, шүрших хэрэглээний нимгэн хальсны хуримтлалын ерөнхий үр ашгийг дээшлүүлэх боломжтой.
Wechat: 15138768150
WhatsApp: +86 15838517324
E-mail : jiajia@forgedmoly.com
