സ്പട്ടർ ലക്ഷ്യങ്ങൾഫിസിക്കൽ നീരാവി നിക്ഷേപം (പിവിഡി) പ്രക്രിയയിൽ നേർത്ത ഫിലിമുകൾ അടിവസ്ത്രങ്ങളിലേക്ക് നിക്ഷേപിക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്ന വസ്തുക്കളാണ്. ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയൽ ഉയർന്ന-ഊർജ്ജ അയോണുകളാൽ ബോംബെറിയപ്പെടുന്നു, ഇത് ലക്ഷ്യ പ്രതലത്തിൽ നിന്ന് ആറ്റങ്ങളെ പുറന്തള്ളുന്നു. ഈ സ്പ്രേ ചെയ്ത ആറ്റങ്ങൾ പിന്നീട് ഒരു അടിവസ്ത്രത്തിൽ നിക്ഷേപിക്കുകയും ഒരു നേർത്ത ഫിലിം രൂപപ്പെടുകയും ചെയ്യുന്നു. അർദ്ധചാലകങ്ങൾ, സോളാർ സെല്ലുകൾ, മറ്റ് ഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങൾ എന്നിവയുടെ നിർമ്മാണത്തിൽ സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റുകൾ സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. അവ സാധാരണയായി ലോഹങ്ങൾ, അലോയ്കൾ അല്ലെങ്കിൽ സംയുക്തങ്ങൾ എന്നിവകൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, അവ നിക്ഷേപിച്ച ഫിലിമിൻ്റെ ആവശ്യമുള്ള ഗുണങ്ങളെ അടിസ്ഥാനമാക്കി തിരഞ്ഞെടുക്കുന്നു.

സ്‌പട്ടറിംഗ് പ്രക്രിയയെ ഇനിപ്പറയുന്നവ ഉൾപ്പെടെ നിരവധി പാരാമീറ്ററുകൾ ബാധിക്കുന്നു:

1. സ്‌പട്ടറിംഗ് പവർ: സ്‌പട്ടറിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ പ്രയോഗിക്കുന്ന വൈദ്യുതിയുടെ അളവ് സ്‌പട്ടറിംഗ് അയോണുകളുടെ ഊർജ്ജത്തെ ബാധിക്കുകയും അതുവഴി സ്‌പട്ടറിംഗ് നിരക്കിനെ ബാധിക്കുകയും ചെയ്യും.

2. സ്‌പട്ടറിംഗ് ഗ്യാസ് മർദ്ദം: ചേമ്പറിലെ സ്‌പട്ടറിംഗ് വാതകത്തിൻ്റെ മർദ്ദം സ്‌പട്ടറിംഗ് അയോണുകളുടെ മൊമെൻ്റം കൈമാറ്റത്തെ ബാധിക്കുന്നു, അതുവഴി സ്‌പട്ടറിംഗ് നിരക്കിനെയും ഫിലിം പ്രകടനത്തെയും ബാധിക്കുന്നു.

3. ടാർഗെറ്റ് പ്രോപ്പർട്ടികൾ: സ്‌പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റിൻ്റെ ഭൗതികവും രാസപരവുമായ ഗുണങ്ങളായ അതിൻ്റെ ഘടന, കാഠിന്യം, ദ്രവണാങ്കം മുതലായവ, സ്‌പട്ടറിംഗ് പ്രക്രിയയെയും നിക്ഷേപിച്ച ഫിലിമിൻ്റെ പ്രകടനത്തെയും ബാധിക്കും.

4. ടാർഗെറ്റും സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റും തമ്മിലുള്ള ദൂരം: സ്‌പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റും സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റും തമ്മിലുള്ള ദൂരം സ്‌പട്ടർ ചെയ്ത ആറ്റങ്ങളുടെ പാതയെയും energy ർജ്ജത്തെയും ബാധിക്കും, അതുവഴി ഫിലിമിൻ്റെ ഡിപ്പോസിഷൻ നിരക്കിനെയും ഏകതാനതയെയും ബാധിക്കും.

5. പവർ ഡെൻസിറ്റി: ടാർഗെറ്റ് പ്രതലത്തിൽ പ്രയോഗിക്കുന്ന പവർ ഡെൻസിറ്റി സ്പട്ടറിംഗ് നിരക്കിനെയും സ്പട്ടറിംഗ് പ്രക്രിയയുടെ കാര്യക്ഷമതയെയും ബാധിക്കുന്നു.

ഈ പരാമീറ്ററുകൾ ശ്രദ്ധാപൂർവം നിയന്ത്രിക്കുകയും ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്യുകയും ചെയ്യുന്നതിലൂടെ, ആവശ്യമുള്ള ഫിലിം പ്രോപ്പർട്ടികൾ നേടുന്നതിനും ഡിപ്പോസിഷൻ നിരക്കുകൾ നേടുന്നതിനും സ്പട്ടറിംഗ് പ്രക്രിയ ക്രമീകരിക്കാവുന്നതാണ്.