വാക്വം കോട്ടിംഗിനായുള്ള ഉയർന്ന പ്യൂരിറ്റി ടൈറ്റാനിയം സ്പട്ടറിംഗ് ലക്ഷ്യം
ഫിസിക്കൽ നീരാവി നിക്ഷേപം (പിവിഡി) പ്രക്രിയകളിൽ, പ്രത്യേകിച്ച് സ്പട്ടറിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള വസ്തുക്കളാണ് സ്പട്ടർ ടാർഗെറ്റുകൾ. അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണം, ഒപ്റ്റിക്കൽ കോട്ടിംഗുകൾ, ഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങൾക്കുള്ള നേർത്ത ഫിലിം ഡിപ്പോസിഷൻ എന്നിവ ഉൾപ്പെടെ വിവിധ വ്യവസായങ്ങളിലെ അടിവസ്ത്രങ്ങളിൽ നേർത്ത ഫിലിമുകൾ നിർമ്മിക്കാൻ ഈ വസ്തുക്കൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു.
ലോഹങ്ങൾ, അലോയ്കൾ, ഓക്സൈഡുകൾ, നൈട്രൈഡുകൾ എന്നിവയുൾപ്പെടെ വിവിധ മൂലകങ്ങളിൽ നിന്നും സംയുക്തങ്ങളിൽ നിന്നും സ്പട്ടർ ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലുകൾ നിർമ്മിക്കാൻ കഴിയും. വൈദ്യുതചാലകത, ഒപ്റ്റിക്കൽ ഗുണവിശേഷതകൾ, കാഠിന്യം, രാസ പ്രതിരോധം തുടങ്ങിയ നേർത്ത ഫിലിം കോട്ടിംഗിന് ആവശ്യമായ പ്രത്യേക സവിശേഷതകളെ ആശ്രയിച്ചിരിക്കും സ്പട്ടർ ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലിൻ്റെ തിരഞ്ഞെടുപ്പ്.
ടൈറ്റാനിയം, അലുമിനിയം, ചെമ്പ് തുടങ്ങിയ ലോഹങ്ങളും ഇൻഡിയം ടിൻ ഓക്സൈഡ് (ഐടിഒ), വിവിധ ലോഹ ഓക്സൈഡുകൾ തുടങ്ങിയ സംയുക്തങ്ങളും ഉൾപ്പെടുന്നു. നേർത്ത ഫിലിം കോട്ടിംഗുകളുടെ ആവശ്യമുള്ള സവിശേഷതകളും പ്രകടനവും കൈവരിക്കുന്നതിന് ഉചിതമായ സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയൽ തിരഞ്ഞെടുക്കുന്നത് നിർണായകമാണ്.
നേർത്ത ഫിലിം ഡിപ്പോസിഷൻ പ്രക്രിയയുടെയും സ്പട്ടറിംഗ് ഉപകരണങ്ങളുടെയും നിർദ്ദിഷ്ട ആവശ്യകതകളെ ആശ്രയിച്ച് സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റുകൾ വിവിധ വലുപ്പങ്ങളിൽ വരുന്നു. സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റിൻ്റെ വലുപ്പം ഏതാനും സെൻ്റീമീറ്റർ മുതൽ പതിനായിരക്കണക്കിന് സെൻ്റീമീറ്റർ വരെ വ്യാസമുള്ളതായിരിക്കും, കൂടാതെ കനം വ്യത്യാസപ്പെടാം.
പൂശേണ്ട സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റിൻ്റെ വലുപ്പം, സ്പട്ടറിംഗ് സിസ്റ്റത്തിൻ്റെ കോൺഫിഗറേഷൻ, ആവശ്യമുള്ള ഡിപ്പോസിഷൻ നിരക്കും ഏകീകൃതതയും പോലുള്ള ഘടകങ്ങളാൽ സ്പട്ടറിംഗ് ലക്ഷ്യത്തിൻ്റെ വലുപ്പം നിർണ്ണയിക്കപ്പെടുന്നു. കൂടാതെ, പൂശേണ്ട വിസ്തീർണ്ണം, മൊത്തത്തിലുള്ള പ്രോസസ്സ് പാരാമീറ്ററുകൾ എന്നിവ പോലുള്ള നേർത്ത ഫിലിം ആപ്ലിക്കേഷൻ്റെ നിർദ്ദിഷ്ട ആവശ്യകതകൾ സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റിൻ്റെ വലുപ്പത്തെ ബാധിച്ചേക്കാം.
ആത്യന്തികമായി, അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണം, ഒപ്റ്റിക്കൽ കോട്ടിംഗുകൾ, മറ്റ് അനുബന്ധ ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ എന്നിവയിലെ നേർത്ത ഫിലിം കോട്ടിംഗ് പ്രക്രിയയുടെ പ്രത്യേക ആവശ്യങ്ങൾ നിറവേറ്റുന്നതിനായി, അടിവസ്ത്രത്തിലേക്ക് ഫിലിം കാര്യക്ഷമവും ഏകീകൃതവുമായ നിക്ഷേപം ഉറപ്പാക്കാൻ സ്പട്ടർ ടാർഗെറ്റിൻ്റെ വലുപ്പം തിരഞ്ഞെടുക്കുന്നു.
സ്പട്ടറിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ സ്പട്ടറിംഗ് നിരക്ക് വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നതിന് നിരവധി മാർഗങ്ങളുണ്ട്:
1. പവർ ആൻഡ് പ്രഷർ ഒപ്റ്റിമൈസേഷൻ: സ്പട്ടറിംഗ് സിസ്റ്റത്തിലെ പവർ, പ്രഷർ പാരാമീറ്ററുകൾ ക്രമീകരിക്കുന്നത് സ്പട്ടറിംഗ് നിരക്കിനെ ബാധിക്കും. ശക്തി വർധിപ്പിക്കുകയും സമ്മർദ്ദ സാഹചര്യങ്ങൾ ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്യുകയും ചെയ്യുന്നത് സ്പട്ടറിംഗ് നിരക്ക് വർദ്ധിപ്പിക്കും, ഇത് നേർത്ത ഫിലിമിൻ്റെ വേഗത്തിലുള്ള നിക്ഷേപത്തിലേക്ക് നയിക്കുന്നു.
2. ടാർഗറ്റ് മെറ്റീരിയലും ജ്യാമിതിയും: ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്ത മെറ്റീരിയൽ കോമ്പോസിഷനും ജ്യാമിതിയും ഉപയോഗിച്ച് സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റുകൾ ഉപയോഗിക്കുന്നത് സ്പട്ടറിംഗ് നിരക്ക് മെച്ചപ്പെടുത്തും. ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ളതും നന്നായി രൂപകൽപ്പന ചെയ്തതുമായ സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റുകൾക്ക് സ്പട്ടറിംഗ് കാര്യക്ഷമത വർദ്ധിപ്പിക്കാനും ഉയർന്ന നിക്ഷേപ നിരക്കിലേക്ക് നയിക്കാനും കഴിയും.
3. ടാർഗെറ്റ് ഉപരിതല തയ്യാറാക്കൽ: സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റ് ഉപരിതലത്തിൻ്റെ ശരിയായ ശുചീകരണവും കണ്ടീഷനിംഗും സ്പട്ടറിംഗ് നിരക്ക് വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നതിന് കാരണമാകും. ടാർഗെറ്റ് ഉപരിതലം മാലിന്യങ്ങളിൽ നിന്നും ഓക്‌സൈഡുകളിൽ നിന്നും മുക്തമാണെന്ന് ഉറപ്പാക്കുന്നത് സ്പട്ടറിംഗ് കാര്യക്ഷമത വർദ്ധിപ്പിക്കും.
4. സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് താപനില: അടിവസ്‌ത്ര താപനില നിയന്ത്രിക്കുന്നത് സ്പട്ടറിംഗ് നിരക്കിനെ ബാധിക്കും. ചില സന്ദർഭങ്ങളിൽ, ഒരു നിശ്ചിത പരിധിക്കുള്ളിൽ സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് താപനില ഉയർത്തുന്നത് സ്പട്ടറിംഗ് നിരക്കുകൾ വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നതിനും ഫിലിം ഗുണനിലവാരം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനും ഇടയാക്കും.
5. വാതക പ്രവാഹവും ഘടനയും: സ്പട്ടറിംഗ് ചേമ്പറിലെ വാതക പ്രവാഹവും ഘടനയും ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്യുന്നത് സ്പട്ടറിംഗ് നിരക്കിനെ ബാധിക്കും. ഗ്യാസ് ഫ്ലോ റേറ്റ് ക്രമീകരിക്കുകയും ഉചിതമായ സ്പട്ടറിംഗ് ഗ്യാസ് മിശ്രിതങ്ങൾ ഉപയോഗിക്കുകയും ചെയ്യുന്നത് സ്പട്ടറിംഗ് പ്രക്രിയയുടെ കാര്യക്ഷമത വർദ്ധിപ്പിക്കും.
ഈ ഘടകങ്ങൾ ശ്രദ്ധാപൂർവ്വം പരിഗണിക്കുകയും സ്പട്ടറിംഗ് പ്രക്രിയയുടെ പാരാമീറ്ററുകൾ ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്യുകയും ചെയ്യുന്നതിലൂടെ, സ്പട്ടറിംഗ് നിരക്ക് വർദ്ധിപ്പിക്കാനും സ്പട്ടറിംഗ് ആപ്ലിക്കേഷനുകളിൽ നേർത്ത ഫിലിം ഡിപ്പോസിഷൻ്റെ മൊത്തത്തിലുള്ള കാര്യക്ഷമത മെച്ചപ്പെടുത്താനും കഴിയും.
വെചാറ്റ്: 15138768150
WhatsApp: +86 15838517324
E-mail : jiajia@forgedmoly.com
