Sputter targetsdia fitaovana ampiasaina hametrahana sarimihetsika manify eo amin'ny substrate mandritra ny fizotry ny fametrahana etona ara-batana (PVD). Ny akora kendrena dia voadaroka amin'ny ions mahery vaika, ka mahatonga ny atôma hivoaka avy ao amin'ny faritra kendrena. Ireo atôma voafafy ireo dia apetraka eo amin'ny substrate iray avy eo, ka mamorona sarimihetsika manify. Ny tanjona sputtering dia matetika ampiasaina amin'ny famokarana semiconductor, sela solar ary fitaovana elektronika hafa. Matetika izy ireo dia vita amin'ny metaly, alloys na fitambarana izay voafantina mifototra amin'ny toetra irina amin'ny sarimihetsika napetraka.

Ny fizotry ny sputtering dia misy fiantraikany amin'ny parameter maromaro, ao anatin'izany:

1. Herin'ny sputtering: Ny habetsaky ny hery ampiasaina mandritra ny dingan'ny sputtering dia hisy fiantraikany amin'ny herin'ny ion sputtering, ka hisy fiantraikany amin'ny tahan'ny sputtering.

2. Fanerena entona mitsambikina: Ny fanerena ny entona mipoitra ao amin'ny efitrano dia misy fiantraikany amin'ny fifindran'ny ion'ny sputtering, ka misy fiantraikany amin'ny tahan'ny sputtering sy ny fampisehoana sarimihetsika.

3. Toetran'ny kendrena: Ny toetra ara-batana sy simika amin'ny kendrena sputtering, toy ny firafiny, ny hamafin'ny, ny teboka mitsonika, sns., dia mety hisy fiantraikany amin'ny fizotran'ny sputtering sy ny fampisehoana ny sarimihetsika napetraka.

4. Ny elanelana misy eo amin'ny lasibatra sy ny substrate: Ny elanelana misy eo amin'ny lasibatra sputtering sy ny substrate dia hisy fiantraikany amin'ny lalana sy ny angovon'ny atoma sputtered, ka hisy fiantraikany amin'ny tahan'ny deposition sy ny fitovian'ny sarimihetsika.

5. Ny hakitroky ny hery: Ny hakitroky ny hery ampiharina amin'ny faritra kendrena dia misy fiantraikany amin'ny tahan'ny sputtering sy ny fahombiazan'ny fizotran'ny sputtering.

Amin'ny alàlan'ny fanaraha-maso tsara sy fanatsarana ireo mari-pamantarana ireo, ny fizotran'ny sputtering dia azo amboarina mba hahatratrarana ny toetran'ny sarimihetsika sy ny tahan'ny fanariana.