Purškiami taikiniaiyra medžiagos, naudojamos plonoms plėvelėms nusodinti ant pagrindo fizinio garų nusodinimo (PVD) proceso metu.Tikslinė medžiaga yra bombarduojama didelės energijos jonais, todėl atomai išsviedžiami nuo tikslinio paviršiaus.Tada šie purškiami atomai nusodinami ant pagrindo ir sudaro ploną plėvelę.Purškimo taikiniai dažniausiai naudojami puslaidininkių, saulės elementų ir kitų elektroninių prietaisų gamyboje.Dažniausiai jie gaminami iš metalų, lydinių ar junginių, kurie parenkami pagal norimas nusodinamos plėvelės savybes.

Purškimo procesą veikia keli parametrai, įskaitant:

1. Purškimo galia: galia, naudojama purškimo proceso metu, turės įtakos išpurškiamų jonų energijai ir taip paveiks purškimo greitį.

2. Dujų slėgis.

3. Tikslinės savybės: fizinės ir cheminės purškiamo objekto savybės, pvz., sudėtis, kietumas, lydymosi temperatūra ir kt., gali turėti įtakos purškimo procesui ir nusodintos plėvelės veikimui.

4. Atstumas tarp taikinio ir pagrindo: atstumas tarp purškiamo taikinio ir pagrindo turės įtakos išpurškiamų atomų trajektorijai ir energijai, taip paveikdamas nusodinimo greitį ir plėvelės vienodumą.

5. Galios tankis: galios tankis, taikomas tiksliniam paviršiui, turi įtakos purškimo greičiui ir purškimo proceso efektyvumui.

Kruopščiai kontroliuojant ir optimizuojant šiuos parametrus, purškimo procesas gali būti pritaikytas norimoms plėvelės savybėms ir nusodinimo greičiui pasiekti.