Kinija Aukšto grynumo titano purškimo taikinys vakuuminiam padengimui Gamintojas ir tiekėjas

Didelio grynumo titano purškimo taikinys vakuuminiam padengimui

Didelio grynumo titano purškimo taikinys vakuuminiam dengimui Teminis vaizdas

Trumpas aprašymas:

Titano purškimo taikiniai naudojami fizinio garų nusodinimo (PVD) procese plonoms titano plėvelėms nusodinti ant pagrindo. Pagaminti iš labai gryno titano, šie taikiniai naudojami tokiose srityse kaip puslaidininkių gamyba, elektroninių ir optinių dangų plonasluoksnė nusodinimas ir paviršiaus inžinerija.

Atsiųskite mums el Atsisiųsti kaip PDF

Produkto detalė

Produkto etiketės

Kas yra purškiama tikslinė medžiaga?

Purškimo taikiniai yra didelio grynumo medžiagos, naudojamos fizinio garų nusodinimo (PVD) procesuose, ypač purškimo technologijoje. Šios medžiagos naudojamos plonoms plėvelėms formuoti ant substratų įvairiose pramonės šakose, įskaitant puslaidininkių gamybą, optines dangas ir plonų plėvelių nusodinimą elektroniniams prietaisams.

Purškimo tikslinės medžiagos gali būti pagamintos iš įvairių elementų ir junginių, įskaitant metalus, lydinius, oksidus ir nitridus. Purškimo paskirties medžiagos pasirinkimas priklauso nuo specifinių plonasluoksnės dangos savybių, tokių kaip elektros laidumas, optinės savybės, kietumas ir cheminis atsparumas.

Įprasti purškimo objektai yra metalai, tokie kaip titanas, aliuminis ir varis, taip pat junginiai, tokie kaip indžio alavo oksidas (ITO) ir įvairūs metalų oksidai. Norint pasiekti norimas plonasluoksnių dangų charakteristikas ir našumą, labai svarbu pasirinkti tinkamą purškimo medžiagą.

Kokio dydžio yra purškiamas taikinys?

Purškimo taikiniai būna įvairių dydžių, atsižvelgiant į specifinius plonasluoksnio nusodinimo proceso ir purškimo įrangos reikalavimus. Purškiamo taikinio dydis gali būti nuo kelių centimetrų iki dešimčių centimetrų skersmens, o storis taip pat gali skirtis.

Purškimo objekto dydis nustatomas pagal tokius veiksnius kaip dengiamo pagrindo dydis, purškimo sistemos konfigūracija ir norimas nusodinimo greitis bei vienodumas. Be to, purškimo taikinio dydžiui gali turėti įtakos specifiniai plonos plėvelės naudojimo reikalavimai, pvz., dengiamas plotas ir bendri proceso parametrai.

Galiausiai, purškimo taikinio dydis parenkamas taip, kad būtų užtikrintas efektyvus ir tolygus plėvelės nusodinimas ant pagrindo, atitinkantis specifinius plonasluoksnės dengimo proceso poreikius puslaidininkių gamyboje, optinėse dangose ir kitose susijusiose srityse.

Kaip galiu padidinti purškimo greitį?

Yra keletas būdų, kaip padidinti purškimo greitį purškimo procese:

1. Galios ir slėgio optimizavimas: galios ir slėgio parametrų reguliavimas purškimo sistemoje gali turėti įtakos purškimo greičiui. Padidinus galią ir optimizuojant slėgio sąlygas, gali padidėti purškimo greitis, todėl plona plėvelė greičiau nusėda.

2. Tikslinė medžiaga ir geometrija: naudojant purškimo taikinius su optimizuota medžiagos sudėtimi ir geometrija, galima pagerinti purškimo greitį. Aukštos kokybės, gerai suprojektuoti purškimo taikiniai gali padidinti purškimo efektyvumą ir padidinti nusėdimo greitį.

3. Tikslinio paviršiaus paruošimas: Tinkamas purškiamo tikslinio paviršiaus valymas ir kondicionavimas gali prisidėti prie didesnio purškimo greičio. Užtikrinus, kad tiksliniame paviršiuje nėra teršalų ir oksidų, galima pagerinti purškimo efektyvumą.

4. Pagrindo temperatūra: Pagrindo temperatūros kontrolė gali turėti įtakos purškimo greičiui. Kai kuriais atvejais pakėlus pagrindo temperatūrą tam tikru diapazonu, gali padidėti purškimo greitis ir pagerėti plėvelės kokybė.

5. Dujų srautas ir sudėtis: Dujų srauto ir sudėties purškimo kameroje optimizavimas gali turėti įtakos purškimo greičiui. Dujų srauto reguliavimas ir tinkamų dulkinimo dujų mišinių naudojimas gali padidinti purškimo proceso efektyvumą.

Atidžiai įvertinus šiuos veiksnius ir optimizavus purškimo proceso parametrus, galima padidinti purškimo greitį ir pagerinti bendrą plonasluoksnio nusodinimo efektyvumą purškiant.