ເທກໂນໂລຍີການລະເຫີຍສູນຍາກາດສໍາລັບການຫລໍ່ຫລອມໂລຫະກ່ຽວຂ້ອງກັບການຝາກຮູບເງົາບາງໆຂອງໂລຫະໃສ່ຊັ້ນຍ່ອຍໂດຍໃຊ້ສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດສູງແລະຂະບວນການປ່ອຍອາຍພິດທາງກາຍະພາບ (PVD).ໃນເທກໂນໂລຍີນີ້, ວັດສະດຸທີ່ມາຈາກໂລຫະເຊັ່ນອາລູມິນຽມ, ຄໍາຫຼືເງິນແມ່ນໃຫ້ຄວາມຮ້ອນໃນເຮືອ evaporation, ເຮັດໃຫ້ມັນລະເຫີຍແລະຫຼັງຈາກນັ້ນ condense ໃສ່ substrate ເພື່ອສ້າງເປັນຮູບເງົາໂລຫະບາງແລະເປັນເອກະພາບ.

ຂັ້ນຕອນທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບເຕັກໂນໂລຊີການລະເຫີຍສູນຍາກາດໂລຫະໂດຍທົ່ວໄປປະກອບມີ:

1. ການກະກຽມ: ເຮັດຄວາມສະອາດຊັ້ນໃຕ້ດິນທີ່ຈະເປັນໂລຫະແລະວາງໄວ້ໃນຫ້ອງສູນຍາກາດ.

2. ການລະເຫີຍ: ເອົາວັດສະດຸແຫຼ່ງໂລຫະເຂົ້າໄປໃນເຮືອລະເຫີຍເຊັ່ນ: ເຮືອ tungsten, ແລະໃຫ້ຄວາມຮ້ອນກັບອຸນຫະພູມການລະເຫີຍໃນສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດສູງ.ເມື່ອໂລຫະລະເຫີຍ, ມັນເຄື່ອນຍ້າຍໃນເສັ້ນຊື່ໄປຫາຊັ້ນໃຕ້ດິນ.

3. ການຖິ້ມຂີ້ເຫຍື້ອ: ອາຍຂອງໂລຫະ condenses ສຸດ substrate ເພື່ອສ້າງເປັນຮູບເງົາບາງໆທີ່ຕິດກັບຫນ້າດິນ.

4. ການຂະຫຍາຍຕົວຂອງຮູບເງົາ: ຂະບວນການ deposition ຍັງສືບຕໍ່ຈົນກ່ວາຄວາມຫນາຂອງຮູບເງົາໂລຫະທີ່ຕ້ອງການແມ່ນບັນລຸໄດ້.

5. ການປຸງແຕ່ງຕໍ່ມາ: ຫຼັງຈາກການຫລໍ່ໂລຫະ, substrate ອາດຈະຜ່ານຂັ້ນຕອນການປຸງແຕ່ງເພີ່ມເຕີມ, ເຊັ່ນ: annealing ຫຼື coating, ເສີມຂະຫຍາຍຄຸນສົມບັດຂອງຮູບເງົາໂລຫະ.

ເທກໂນໂລຍີການລະເຫີຍຂອງໂລຫະສູນຍາກາດຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນອຸດສາຫະກໍາເຊັ່ນ: ເອເລັກໂຕຣນິກ, optics, ແລະຍານຍົນ, ບ່ອນທີ່ຮູບເງົາໂລຫະຖືກນໍາໃຊ້ກັບ substrates ເພື່ອບັນລຸ conductive, ສະທ້ອນໃຫ້ເຫັນ, ຫຼືສໍາເລັດຮູບຕົກແຕ່ງ.