Armancên Sputterew malzemeyên ku di dema pêvajoya hilanîna buhara laşî (PVD) de fîlimên nazik li ser binesaziyan têne danîn têne bikar anîn. Madeya hedef bi îyonên bi enerjiya bilind tê bombekirin û dibe sedem ku atom ji rûyê hedefê werin avêtin. Dûv re ev atomên spreyî li ser substratek têne danîn, fîlimek zirav çêdibe. Armancên sputtering bi gelemperî di hilberîna nîvconductors, hucreyên rojê û amûrên din ên elektronîkî de têne bikar anîn. Ew bi gelemperî ji metal, alloy an pêkhateyên ku li ser bingeha taybetmendiyên xwestî yên fîlima depokirî têne hilbijartin têne çêkirin.

Pêvajoya sputtering ji hêla çend parametreyan ve tê bandor kirin, di nav de:

1. Hêza rijandinê: Hêza ku di dema pêvajoya rijandinê de tê bikar anîn dê bandorê li ser enerjiya îyonên rijandin bike, bi vî rengî bandorê li rêjeya rijandinê bike.

2. Zexta gazê ya şuştinê: Zexta gaza rijandinê ya di jûreyê de bandorê li veguheztina momentumê ya îyonên rijandin dike, bi vî rengî bandorê li rêjeya rijandin û performansa fîlimê dike.

3. Taybetmendiyên mebest: Taybetmendiyên laşî û kîmyewî yên mebesta şilandinê, wekî pêkhatina wê, hişkbûn, xala helandinê, hwd., dikarin bandorê li pêvajoya rijandinê û performansa fîlima dagirtî bikin.

4. Dûrahiya di navbera armanc û substratê de: Dûrahiya di navbera armanca rijandin û substratê de dê bandorê li rêgez û enerjiya atomên hûrkirî bike, bi vî rengî bandorê li rêjeya hilweşandinê û yekrengiya fîlimê bike.

5. Dendika hêzê: Dendika hêzê ya ku li ser rûbera armancê hatî sepandin bandorê li ser rêjeya rijandinê û karbidestiya pêvajoya rijandinê dike.

Bi baldarî kontrolkirin û xweşbînkirina van parameteran, pêvajoya şilandinê dikare were sêwirandin da ku bigihîje taybetmendiyên fîlimê û rêjeyên depokirinê yên xwestî.