Sputter គោលដៅគឺជាវត្ថុធាតុដើមដែលប្រើសម្រាប់ដាក់ខ្សែភាពយន្តស្តើងទៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម កំឡុងពេលដំណើរការបញ្ចេញចំហាយរាងកាយ (PVD)។សម្ភារៈគោលដៅត្រូវបានទម្លាក់ដោយអ៊ីយ៉ុងថាមពលខ្ពស់ ដែលបណ្តាលឱ្យអាតូមត្រូវបានច្រានចេញពីផ្ទៃគោលដៅ។បន្ទាប់មក អាតូមបាញ់ថ្នាំទាំងនេះ ត្រូវបានដាក់នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម បង្កើតជាខ្សែភាពយន្តស្តើងមួយ។Sputtering targets ត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅក្នុងការផលិត semiconductors កោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ និងឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចផ្សេងទៀត។ពួកវាជាធម្មតាត្រូវបានផលិតពីលោហធាតុ យ៉ាន់ស្ព័រ ឬសមាសធាតុដែលត្រូវបានជ្រើសរើសដោយផ្អែកលើលក្ខណៈសម្បត្តិដែលចង់បាននៃខ្សែភាពយន្តដែលបានដាក់។

ដំណើរការ sputtering ត្រូវបានប៉ះពាល់ដោយប៉ារ៉ាម៉ែត្រជាច្រើនរួមមាន:

1. ថាមពល Sputtering: បរិមាណនៃថាមពលដែលបានអនុវត្តក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការ sputtering នឹងប៉ះពាល់ដល់ថាមពលរបស់ sputtered ions ដោយហេតុនេះប៉ះពាល់ដល់អត្រា sputtering ។

2. សម្ពាធឧស្ម័ន Sputtering: សម្ពាធនៃឧស្ម័ន sputtering នៅក្នុងបន្ទប់នេះប៉ះពាល់ដល់ការផ្ទេរសន្ទុះនៃ ions sputtered ដោយហេតុនេះប៉ះពាល់ដល់អត្រា sputtering និងដំណើរការខ្សែភាពយន្ត។

3. លក្ខណសម្បត្តិគោលដៅ៖ លក្ខណៈរូបវន្ត និងគីមីនៃវត្ថុបញ្ឆេះ ដូចជាសមាសធាតុរបស់វា ភាពរឹង ចំណុចរលាយ ជាដើម អាចប៉ះពាល់ដល់ដំណើរការប្រឡាក់ និងដំណើរការនៃខ្សែភាពយន្តដែលបានដាក់។

4. ចម្ងាយរវាងគោលដៅ និងស្រទាប់ខាងក្រោម៖ ចំងាយរវាងគោលដៅ sputtering និងស្រទាប់ខាងក្រោមនឹងប៉ះពាល់ដល់គន្លង និងថាមពលនៃអាតូម sputtered ដោយហេតុនេះប៉ះពាល់ដល់អត្រានៃការដាក់ និងឯកសណ្ឋាននៃខ្សែភាពយន្ត។

5. ដង់ស៊ីតេថាមពល៖ ដង់ស៊ីតេថាមពលដែលបានអនុវត្តទៅលើផ្ទៃគោលដៅប៉ះពាល់ដល់អត្រានៃការបញ្ចេញទឹករំអិល និងប្រសិទ្ធភាពនៃដំណើរការប្រឡាក់។

តាមរយៈការគ្រប់គ្រងដោយប្រុងប្រយ័ត្ន និងបង្កើនប្រសិទ្ធភាពប៉ារ៉ាម៉ែត្រទាំងនេះ ដំណើរការផ្លុំទឹកអាចត្រូវបានកែសម្រួលដើម្បីសម្រេចបាននូវលក្ខណៈសម្បត្តិនៃខ្សែភាពយន្តដែលចង់បាន និងអត្រានៃការដាក់ប្រាក់។