មានវិធីជាច្រើនដើម្បីបង្កើនអត្រា sputtering នៅក្នុងដំណើរការ sputtering:

1. ការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពថាមពល និងសម្ពាធ៖ ការកែតម្រូវប៉ារ៉ាម៉ែត្រថាមពល និងសម្ពាធនៅក្នុងប្រព័ន្ធ sputtering អាចប៉ះពាល់ដល់អត្រា sputtering ។ការបង្កើនថាមពល និងការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពលក្ខខណ្ឌសម្ពាធអាចបង្កើនអត្រានៃការបែកញើស ដែលនាំទៅដល់ការទម្លាក់ខ្សែភាពយន្តស្តើងកាន់តែលឿន។

2. សម្ភារៈគោលដៅ និងធរណីមាត្រ៖ ការប្រើគោលដៅ sputtering ជាមួយនឹងសមាសភាពសម្ភារៈ និងធរណីមាត្រដែលបានធ្វើឱ្យប្រសើរអាចធ្វើអោយអត្រា sputtering ប្រសើរឡើង។គោលដៅបាញ់ទឹកដែលមានគុណភាពខ្ពស់ និងរចនាយ៉ាងល្អអាចជួយបង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃការបញ្ចេញទឹក និងនាំទៅរកអត្រានៃការដាក់ប្រាក់កាន់តែខ្ពស់។

3. ការរៀបចំផ្ទៃគោលដៅ៖ ការសម្អាត និងការដាក់លក្ខខណ្ឌត្រឹមត្រូវនៃផ្ទៃគោលដៅដែលអាចបញ្ចេញទឹកបានអាចរួមចំណែកដល់ការបង្កើនអត្រាប្រឡាក់។ការធានាថាផ្ទៃគោលដៅគឺគ្មានសារធាតុកខ្វក់ ហើយអុកស៊ីដអាចបង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃការប្រឡាក់។

4. សីតុណ្ហភាពស្រទាប់ខាងក្រោម៖ ការគ្រប់គ្រងសីតុណ្ហភាពស្រទាប់ខាងក្រោមអាចជះឥទ្ធិពលដល់អត្រានៃការបែកញើស។ក្នុងករណីខ្លះ ការបង្កើនសីតុណ្ហភាពស្រទាប់ខាងក្រោមក្នុងជួរជាក់លាក់មួយអាចនាំអោយមានការកើនឡើងនូវអត្រាប្រឡាក់ និងធ្វើអោយគុណភាពខ្សែភាពយន្តប្រសើរឡើង។

5. លំហូរឧស្ម័ន និងសមាសភាព៖ ការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃលំហូរឧស្ម័ន និងសមាសភាពនៅក្នុងបន្ទប់ចំហេះអាចប៉ះពាល់ដល់អត្រាប្រឡាក់។ការកែតម្រូវអត្រាលំហូរឧស្ម័ន និងការប្រើប្រាស់ល្បាយឧស្ម័ន sputtering សមស្របអាចជួយបង្កើនប្រសិទ្ធភាពដំណើរការ sputtering ។

ដោយការពិចារណាដោយប្រុងប្រយ័ត្ននូវកត្តាទាំងនេះ និងការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការ sputtering វាអាចធ្វើទៅបានដើម្បីបង្កើនអត្រា sputtering និងធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវប្រសិទ្ធភាពរួមនៃស្រទាប់ស្តើងនៅក្នុងកម្មវិធី sputtering ។