Шашыратқыш мақсаттарфизикалық бу тұндыру (PVD) процесінде субстраттарға жұқа қабықшаларды салу үшін қолданылатын материалдар.Мақсатты материал жоғары энергиялы иондармен бомбаланады, бұл атомдардың нысана бетінен лақтырылуына әкеледі.Содан кейін бұл шашыраған атомдар жұқа қабықшаны құра отырып, субстратқа қойылады.Шашырату нысандары әдетте жартылай өткізгіштерді, күн батареяларын және басқа электрондық құрылғыларды өндіруде қолданылады.Олар әдетте металдардан, қорытпалардан немесе қосындылардан жасалған, олар тұндырылған пленканың қажетті қасиеттеріне қарай таңдалады.

Шашырату процесіне бірнеше параметрлер әсер етеді, соның ішінде:

1. Шашырату қуаты: шашырату процесі кезінде қолданылатын қуат мөлшері шашыраған иондардың энергиясына әсер етеді, осылайша шашырату жылдамдығына әсер етеді.

2. Шашыратушы газдың қысымы: Камерадағы шашыратқыш газдың қысымы шашыраған иондардың импульс беруіне әсер етеді, осылайша шашырату жылдамдығына және қабықшаның өнімділігіне әсер етеді.

3. Мақсатты қасиеттер: Шашырау нысанының физикалық және химиялық қасиеттері, мысалы, оның құрамы, қаттылығы, балқу температурасы және т.б. шашырау процесіне және тұндырылған пленканың өнімділігіне әсер етуі мүмкін.

4. Нысана мен субстрат арасындағы қашықтық: Шашырау нысанасы мен субстрат арасындағы қашықтық шашыраған атомдардың траекториясына және энергиясына әсер етеді, осылайша қабаттың тұндыру жылдамдығы мен біркелкілігіне әсер етеді.

5. Қуат тығыздығы: мақсатты бетке қолданылатын қуат тығыздығы шашырату жылдамдығына және шашырату процесінің тиімділігіне әсер етеді.

Осы параметрлерді мұқият бақылау және оңтайландыру арқылы шашырату процесін қалаған пленка қасиеттері мен тұндыру жылдамдығына қол жеткізу үшін бейімдеуге болады.