Вакуумдық жабынға арналған жоғары тазалықтағы титанды шашырату мақсаты
Шашырату нысандары физикалық буларды тұндыру (PVD) процестерінде, әсіресе шашырату технологиясында қолданылатын жоғары таза материалдар болып табылады. Бұл материалдар жартылай өткізгіштер өндірісінде, оптикалық жабындарды және электронды құрылғыларға арналған жұқа қабықтарды тұндыруды қоса алғанда, әртүрлі салаларда субстраттарда жұқа қабықшаларды қалыптастыру үшін қолданылады.
Шашыратушы мақсатты материалдар металдарды, қорытпаларды, оксидтерді және нитридтерді қоса алғанда, әртүрлі элементтер мен қосылыстардан жасалуы мүмкін. Бүріккіш мақсатты материалды таңдау электр өткізгіштік, оптикалық қасиеттер, қаттылық және химиялық төзімділік сияқты жұқа пленка жабынына қажетті ерекше қасиеттерге байланысты.
Жалпы шашырату нысандарына титан, алюминий және мыс сияқты металдар, сондай-ақ индий қалайы оксиді (ITO) және әртүрлі металл оксидтері сияқты қосылыстар жатады. Сәйкес шашыратқыш материалды таңдау жұқа пленка жабындарының қажетті сипаттамалары мен өнімділігіне қол жеткізу үшін өте маңызды.
Шашырату нысандары жұқа қабықшаны тұндыру процесінің және бүрку жабдығының нақты талаптарына байланысты әртүрлі өлшемдерде болады. Шашырату нысанасының өлшемі диаметрі бірнеше сантиметрден ондаған сантиметрге дейін болуы мүмкін, ал қалыңдығы да әртүрлі болуы мүмкін.
Шашырату нысанының өлшемі қапталатын субстраттың өлшемі, шашырату жүйесінің конфигурациясы және қалаған тұндыру жылдамдығы мен біркелкілігі сияқты факторлармен анықталады. Бұған қоса, шашырату нысанасының өлшеміне жұқа қабықшаны қолданудың арнайы талаптары, мысалы, қапталатын аумақ және жалпы процесс параметрлері әсер етуі мүмкін.
Сайып келгенде, шашыратқыш нысананың өлшемі жартылай өткізгішті өндірудегі, оптикалық жабындардағы және басқа да тиісті қолданбалы бағдарламалардағы жұқа қабықпен қаптау процесінің ерекше қажеттіліктерін қанағаттандыратын пленканың субстратқа тиімді және біркелкі тұндырылуын қамтамасыз ету үшін таңдалады.
Шашырату процесінде шашырау жылдамдығын арттырудың бірнеше жолы бар:
1. Қуатты және қысымды оңтайландыру: тозаңдату жүйесіндегі қуат пен қысым параметрлерін реттеу тозаңдату жылдамдығына әсер етуі мүмкін. Қуатты арттыру және қысым жағдайларын оңтайландыру шашырау жылдамдығын арттырып, жұқа қабықтың тезірек тұндырылуына әкеледі.
2. Мақсатты материал және геометрия: Оңтайландырылған материал құрамы мен геометриясы бар шашырату нысандарын пайдалану тозаңдату жылдамдығын жақсартады. Сапалы, жақсы жобаланған бүрку мақсаттары тозаңдату тиімділігін арттырып, тұндыру жылдамдығының жоғарылауына әкелуі мүмкін.
3. Нысаналы бетті дайындау: Шашыраудың мақсатты бетін дұрыс тазалау және кондициялау шашырау жылдамдығының артуына ықпал етуі мүмкін. Мақсатты беттің ластаушы заттар мен оксидтерден таза болуын қамтамасыз ету тозаңдату тиімділігін арттырады.
4. Субстрат температурасы: субстрат температурасын бақылау шашырау жылдамдығына әсер етуі мүмкін. Кейбір жағдайларда субстрат температурасын белгілі бір диапазонда көтеру шашырау жылдамдығының жоғарылауына және пленка сапасының жақсаруына әкелуі мүмкін.
5. Газ ағыны және құрамы: тозаңдату камерасындағы газ ағыны мен құрамын оңтайландыру тозаңдату жылдамдығына әсер етуі мүмкін. Газ ағынының жылдамдығын реттеу және сәйкес шашыратқыш газ қоспаларын пайдалану тозаңдату процесінің тиімділігін арттыруы мүмкін.
Осы факторларды мұқият қарастыру және тозаңдату процесінің параметрлерін оңтайландыру арқылы тозаңдату жылдамдығын арттыруға және шашырату қолданбаларында жұқа қабықша шөгуінің жалпы тиімділігін арттыруға болады.
Wechat: 15138768150
WhatsApp: +86 15838517324
E-mail : jiajia@forgedmoly.com
