99.95%純粋なタンタルスパッタリングターゲット
タンタルスパッタリングターゲットは通常、粉末冶金プロセスを使用して製造されます。
この方法では、タンタル粉末を圧縮および焼結して固体タンタルプレートを形成します。焼結されたシートは、機械加工や圧延などのさまざまな成形プロセスを経て、所望の寸法と表面仕上げが得られます。その後、最終製品は洗浄および検査され、スパッタリング用途に必要な仕様を満たしているかどうかが確認されます。この製造方法により、タンタル スパッタリング ターゲットが薄膜堆積プロセスで最適な性能を達成するために必要な純度、密度、微細構造を確実に備えます。
タンタル スパッタリング ターゲットは、さまざまな材料の薄膜を基板上に堆積する方法であるスパッタ堆積プロセスで使用されます。タンタル スパッタリング ターゲットの場合、半導体ウェーハ、ディスプレイ コーティング、その他の電子部品などのさまざまな表面にタンタル薄膜を堆積するために使用されます。スパッタ堆積プロセス中、タンタル スパッタリング ターゲットは高エネルギー イオンによって衝撃を受け、タンタル原子がターゲットから放出され、基板上に薄膜の形で堆積されます。このプロセスにより、膜の厚さと均一性を正確に制御できるため、電子デバイスやその他のハイテク製品を製造するための重要な方法となっています。タンタル スパッタリング ターゲットは、融点が高く、化学的不活性性があり、さまざまな基板材料との適合性が高く評価されており、耐久性と高品質の膜を必要とする用途に最適です。これらのターゲットは、コンデンサ、集積回路、その他の電子デバイスの製造に一般的に使用されます。
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