蒸着に使用されるタングステンボートは通常、粉末冶金プロセスを使用して製造されます。以下は、蒸着用のタングステン ボートを製造するための一般的な手順です。

原料の選択: タングステンボートの製造の主原料として、通常純度 99.95% の高純度金属タングステン粉末を選択します。高純度により、蒸発中の汚染が最小限に抑えられます。混合: 均一な混合物と一貫した材料特性を達成するために、特殊な装置を使用してタングステン粉末を慎重に混合します。圧縮: 混合タングステン粉末を金型に配置し、通常は冷間静水圧プレス (CIP) または一軸プレスによって高圧を加えます。このプロセスでは、粉末を圧縮して、目的のボートの形状に似た緻密で一貫した形状にします。予備焼結: 圧縮されたタングステン部品は、制御された雰囲気中で高温で予備焼結され、粉末粒子が結合して強度が向上した固体構造を形成します。焼結: 仮焼結された部品は、真空または水素雰囲気中で高温焼結プロセスにさらされます。このプロセスにより、材料の密度がさらに高まり、残留気孔が除去され、粒子の成長が促進されるため、強力で緻密なタングステン ボートが得られます。機械加工と仕上げ: 焼結後、タングステンボートは、蒸着プロセス中に材料を効率的に蒸発させるために必要な最終寸法、溝、表面仕上げを実現するために、フライス加工、旋削、研削などの機械加工作業を行うことができます。品質管理: 完成したタングステンボートは、寸法精度、表面の完全性、材料の純度が検査され、蒸着用途の指定要件を満たしていることが確認されます。

タングステンボートが真空蒸着プロセスの厳しい要件を満たしていることを確認するには、生産プロセス全体を通じて、厳格な品質管理措置とプロセス監視が非常に重要です。結果として得られるタングステン ボートは高温や腐食環境に耐えることができるため、業界全体のさまざまな真空蒸着用途に適しています。