イオン注入
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半導体産業用加熱部品タングステンツイストフィラメント
ツイストタングステンワイヤは、半導体業界のイオン注入装置、真空蒸着システム、電子ビームシステムなどの用途で一般的に使用されています。これらの発熱体は、優れた高温安定性、低い蒸気圧、強力な機械的特性を備えているため、要求の厳しい半導体プロセス環境に最適です。半導体産業用にタングステン撚り線を購入する場合は、フィラメントの直径、長さ、ピッチ、表面仕上げ、熱特性などの要素を考慮することが重要です。