Nagy tisztaságú ionimplantációs volfrámszál
Az ionimplantációs volfrámhuzal az ionbeültető gépek kulcsfontosságú összetevője, főként a félvezetőgyártási folyamatokban. Ez a típusú volfrámhuzal fontos szerepet játszik a félvezető berendezésekben, minősége és teljesítménye közvetlenül befolyásolja az IC folyamatsorok hatékonyságát. Az ionimplantációs gép kulcsfontosságú berendezés a VLSI (Very Large Scale Integrated Circuit) gyártási folyamatában, és nem hagyható figyelmen kívül a volfrámhuzal ionforrásként betöltött szerepe.
| Méretek | Mint a rajzaid |
| Származási hely | Luoyang, Henan |
| Márkanév | FGD |
| Alkalmazás | félvezető |
| Felület | Fekete bőr, lúgos mosás, autófényes, polírozott |
| Tisztaság | 99,95% |
| Anyag | W1 |
| Sűrűség | 19,3g/cm3 |
| Végrehajtási szabványok | GB/T 4181-2017 |
| Olvadáspont | 3400 ℃ |
| Szennyeződés tartalom | 0,005% |
| Fő összetevők | W＞99,95% |
| Szennyeződéstartalom ≤ | |
| Pb | 0,0005 |
| Fe | 0,0020 |
| S | 0,0050 |
| P | 0,0005 |
| C | 0,01 |
| Cr | 0,0010 |
| Al | 0,0015 |
| Cu | 0,0015 |
| K | 0,0080 |
| N | 0,003 |
| Sn | 0,0015 |
| Si | 0,0020 |
| Ca | 0,0015 |
| Na | 0,0020 |
| O | 0,008 |
| Ti | 0,0010 |
| Mg | 0,0010 |
1. Üzemünk Luoyang városában, Henan tartományban található. Luoyang a volfrám- és molibdénbányák termelési területe, így abszolút előnyökkel rendelkezünk a minőség és az ár tekintetében;
2. Cégünk több mint 15 éves tapasztalattal rendelkező műszaki személyzettel rendelkezik, és minden ügyfél igényére célzott megoldásokat és javaslatokat adunk.
3. Minden termékünk szigorú minőségellenőrzésen megy keresztül, mielőtt exportálnák.
4. Ha hibás árut kap, felveheti velünk a kapcsolatot a visszatérítésért.
1.Alapanyag kiválasztása
(Válasszon kiváló minőségű wolfram alapanyagokat, hogy biztosítsa a végtermék tisztaságát és mechanikai tulajdonságait. )
2. Olvadás és tisztítás
(A kiválasztott wolfram alapanyagokat ellenőrzött környezetben olvasztják meg a szennyeződések eltávolítása és a kívánt tisztaság elérése érdekében.)
3. Dróthúzás
(A megtisztított wolframanyagot extrudálják vagy egy sor szerszámon keresztül húzzák a szükséges huzalátmérő és mechanikai tulajdonságok elérése érdekében.)
4.Lágyítás
(A húzott volfrámhuzalt lágyítják, hogy kiküszöböljék a belső feszültséget, és javítsák a rugalmasságát és a feldolgozási teljesítményét.)
5. Ionbeültetési eljárás
Ebben a konkrét esetben maga a wolframszál is áteshet egy ionimplantációs folyamaton, amelynek során ionokat fecskendeznek be a wolframszál felületébe, hogy megváltoztassák annak tulajdonságait az ionimplanter teljesítményének fokozása érdekében.)
A félvezető chip gyártási folyamatában az ionimplantációs gép az egyik kulcsfontosságú berendezés, amelyet a chip áramköri diagramjának a maszkról a szilícium lapkára történő átvitelére és a chip célfunkciójának elérésére használnak. Ez a folyamat olyan lépéseket tartalmaz, mint a kémiai mechanikai polírozás, vékonyréteg-leválasztás, fotolitográfia, maratás és ionimplantáció, amelyek közül az ionimplantáció a szilíciumlapkák teljesítményének javításának egyik fontos eszköze. Az ionimplantációs gépek alkalmazása hatékonyan szabályozza a chipgyártás idejét és költségét, miközben javítja a chipek teljesítményét és megbízhatóságát.
Igen, a volfrámszálak érzékenyek a szennyeződésre az ionbeültetési folyamat során. A szennyeződés számos tényező miatt következhet be, mint például az ionimplantációs kamrában jelen lévő maradék gázok, részecskék vagy szennyeződések miatt. Ezek a szennyeződések megtapadhatnak a wolframszál felületén, befolyásolva annak tisztaságát, és potenciálisan befolyásolva az ionbeültetési folyamat teljesítményét. Ezért a tiszta és ellenőrzött környezet fenntartása az ionimplantációs kamrán belül kritikus fontosságú a szennyeződés kockázatának minimalizálása és a volfrámszál integritásának biztosítása érdekében. A rendszeres tisztítási és karbantartási eljárások szintén segíthetnek csökkenteni az ionbeültetés során bekövetkező szennyeződés lehetőségét.
A volfrámhuzal magas olvadáspontjáról és kiváló mechanikai tulajdonságairól ismert, amelyek ellenállóvá teszik a deformációkkal szemben normál ionbeültetési körülmények között. A nagyenergiájú ionbombázás és ionbeültetés során keletkező hő azonban idővel torzulást okozhat, különösen, ha a folyamatparamétereket nem ellenőrzik gondosan.
Az olyan tényezők, mint az ionsugár intenzitása és időtartama, valamint a volfrámhuzal által tapasztalt hőmérséklet és feszültségszintek, mind hozzájárulhatnak a deformáció lehetőségéhez. Ezenkívül a volfrámhuzal bármilyen szennyeződése vagy hibája fokozza a deformációra való hajlamot.
Az alakváltozás kockázatának csökkentése érdekében gondosan figyelemmel kell kísérni és ellenőrizni kell a folyamat paramétereit, biztosítani kell a wolframszál tisztaságát és minőségét, valamint megfelelő karbantartási és vizsgálati protokollokat kell megvalósítani az ionbeültető berendezésre vonatkozóan. A wolframhuzal állapotának és teljesítményének rendszeres felmérése segíthet a torzulás jeleinek azonosításában, és szükség esetén korrekciós intézkedések megtételében.
