Volframova nit visoke čistoće za ionsku implantaciju
Volframova žica za ionsku implantaciju ključna je komponenta koja se koristi u strojevima za ionsku implantaciju, uglavnom u procesima proizvodnje poluvodiča. Ova vrsta volframove žice igra važnu ulogu u poluvodičkoj opremi, a njezina kvaliteta i performanse izravno utječu na učinkovitost IC procesnih linija. Stroj za ionsku implantaciju ključna je oprema u procesu proizvodnje VLSI (Very Large Scale Integrated Circuit) i uloga volframove žice kao izvora iona ne može se zanemariti.
| Dimenzije | Kao tvoji crteži |
| Mjesto podrijetla | Luoyang, Henan |
| Naziv marke | FGD |
| Primjena | poluvodič |
| Površinski | Crna koža, pranje lužinom, glancanje auta, polirano |
| Čistoća | 99,95% |
| Materijal | W1 |
| Gustoća | 19,3 g/cm3 |
| Standardi izvršenja | GB/T 4181-2017 |
| Talište | 3400 ℃ |
| Sadržaj nečistoća | 0,005% |
| Glavne komponente | W>99,95% |
| Sadržaj nečistoća≤ | |
| Pb | 0,0005 |
| Fe | 0,0020 |
| S | 0,0050 |
| P | 0,0005 |
| C | 0,01 |
| Cr | 0,0010 |
| Al | 0,0015 |
| Cu | 0,0015 |
| K | 0,0080 |
| N | 0,003 |
| Sn | 0,0015 |
| Si | 0,0020 |
| Ca | 0,0015 |
| Na | 0,0020 |
| O | 0,008 |
| Ti | 0,0010 |
| Mg | 0,0010 |
1. Naša tvornica nalazi se u gradu Luoyang, provincija Henan. Luoyang je proizvodno područje za rudnike volframa i molibdena, tako da imamo apsolutne prednosti u kvaliteti i cijeni;
2. Naša tvrtka ima tehničko osoblje s više od 15 godina iskustva, a mi pružamo ciljana rješenja i prijedloge za potrebe svakog kupca.
3. Svi naši proizvodi prolaze strogu inspekciju kvalitete prije izvoza.
4. Ako primite neispravnu robu, možete nas kontaktirati za povrat novca.
1. Odabir sirovina
(Odaberite visokokvalitetne sirovine od volframa kako biste osigurali čistoću i mehanička svojstva konačnog proizvoda. )
2. Taljenje i pročišćavanje
(Odabrane sirovine od volframa tope se u kontroliranom okruženju kako bi se uklonile nečistoće i postigla željena čistoća.)
3. Crtanje žice
(Pročišćeni volfram materijal se ekstrudira ili izvlači kroz niz matrica kako bi se postigao potreban promjer žice i mehanička svojstva.)
4. Žarenje
(Vučena volframova žica žari se kako bi se uklonio unutarnji stres i poboljšala njezina duktilnost i učinak obrade )
5. Proces ionske implantacije
U ovom konkretnom slučaju, sam volframov filament može proći proces ionske implantacije, u kojem se ioni ubrizgavaju u površinu volframovog filamenta kako bi se promijenila njegova svojstva i poboljšala učinkovitost u ionskom implantatu.)
U procesu proizvodnje poluvodičkih čipova, stroj za ionsku implantaciju jedna je od ključnih uređaja koji se koriste za prijenos dijagrama strujnog kruga čipa s maske na silicijsku pločicu i postizanje ciljne funkcije čipa. Ovaj proces uključuje korake kao što su kemijsko mehaničko poliranje, taloženje tankog filma, fotolitografija, jetkanje i ionska implantacija, među kojima je ionska implantacija jedno od važnih sredstava za poboljšanje performansi silicijskih pločica. Primjena strojeva za ionsku implantaciju učinkovito kontrolira vrijeme i troškove proizvodnje čipova, istovremeno poboljšavajući performanse i pouzdanost čipova.
Da, volframove niti su osjetljive na kontaminaciju tijekom procesa ionske implantacije. Do kontaminacije može doći zbog niza čimbenika, kao što su zaostali plinovi, čestice ili nečistoće prisutne u komori za ionsku implantaciju. Ovi kontaminanti mogu prionuti na površinu volframove niti, utječući na njegovu čistoću i potencijalno utječući na izvedbu procesa ionske implantacije. Stoga je održavanje čistog i kontroliranog okoliša unutar komore za ionsku implantaciju ključno za smanjenje rizika od kontaminacije i osiguranje integriteta volframove niti. Redoviti postupci čišćenja i održavanja također mogu pomoći u ublažavanju mogućnosti kontaminacije tijekom ionske implantacije.
Volframova žica poznata je po visokom talištu i izvrsnim mehaničkim svojstvima, što je čini otpornom na deformacije u normalnim uvjetima ionske implantacije. Međutim, toplina koja se stvara tijekom visokoenergetskog ionskog bombardiranja i ionske implantacije može uzrokovati izobličenje tijekom vremena, osobito ako se parametri procesa ne kontroliraju pažljivo.
Čimbenici kao što su intenzitet i trajanje ionske zrake te temperatura i razina naprezanja koje doživljava volframova žica mogu pridonijeti potencijalnoj deformaciji. Osim toga, sve nečistoće ili nedostaci u volframovoj žici će pogoršati osjetljivost na deformacije.
Kako bi se smanjio rizik od deformacije, procesni parametri se moraju pažljivo pratiti i kontrolirati, mora se osigurati čistoća i kvaliteta volframove niti, a za opremu za ionsku implantaciju moraju se primijeniti odgovarajući protokoli održavanja i inspekcije. Redovita procjena stanja i performansi volframove žice može pomoći u prepoznavanju bilo kakvih znakova izobličenja i po potrebi poduzeti korektivne mjere.
