Sputter hom phiajyog cov ntaub ntawv siv los tso cov yeeb yaj kiab nyias mus rau hauv substrates thaum lub cev vapor deposition (PVD) txheej txheem. Lub hom phiaj cov khoom yog bombarded nrog high-zog ions, ua rau atoms yuav ejected los ntawm lub hom phiaj nto. Cov tshuaj txau no ces muab tso rau hauv lub substrate, ua ib zaj duab xis nyias. Sputtering lub hom phiaj yog feem ntau siv hauv kev tsim cov khoom siv hluav taws xob, lub hnub ci hlwb thiab lwm yam khoom siv hluav taws xob. Lawv feem ntau yog ua los ntawm cov hlau, alloys lossis cov tebchaw uas raug xaiv raws li cov khoom xav tau ntawm cov yeeb yaj kiab tso.

Cov txheej txheem sputtering raug cuam tshuam los ntawm ntau qhov tsis muaj, suav nrog:

1. Sputtering zog: Tus nqi ntawm lub zog siv thaum lub sij hawm sputtering yuav cuam tshuam lub zog ntawm sputtered ions, yog li cuam tshuam rau tus nqi sputtering.

2. Sputtering gas siab: Lub siab ntawm cov roj sputtering nyob rau hauv lub chamber cuam tshuam rau lub zog hloov ntawm sputtered ions, yog li cuam tshuam rau sputtering tus nqi thiab kev ua yeeb yaj kiab.

3. Lub hom phiaj cov khoom: Lub cev thiab tshuaj lom neeg ntawm lub hom phiaj sputtering, xws li nws muaj pes tsawg leeg, hardness, melting point, thiab lwm yam, tuaj yeem cuam tshuam rau cov txheej txheem sputtering thiab kev ua haujlwm ntawm cov yeeb yaj kiab tso tawm.

4. Qhov kev ncua deb ntawm lub hom phiaj thiab lub substrate: Qhov kev ncua deb ntawm lub hom phiaj sputtering thiab lub substrate yuav cuam tshuam rau txoj kev thiab lub zog ntawm cov atoms sputtered, yog li cuam tshuam rau tus nqi deposition thiab uniformity ntawm zaj duab xis.

5. Lub zog ntom ntom: Lub zog ntom ntom siv rau lub hom phiaj nto cuam tshuam rau tus nqi sputtering thiab kev ua haujlwm ntawm cov txheej txheem sputtering.

Los ntawm kev ua tib zoo tswj thiab ua kom zoo dua cov kev txwv no, cov txheej txheem sputtering tuaj yeem raug kho kom ua tiav cov yeeb yaj kiab uas xav tau thiab cov nqi tso nyiaj.