स्पटर लक्ष्यभौतिक वाष्प जमाव (पीवीडी) प्रक्रिया के दौरान सब्सट्रेट्स पर पतली फिल्मों को जमा करने के लिए उपयोग की जाने वाली सामग्रियां हैं। लक्ष्य सामग्री पर उच्च-ऊर्जा आयनों की बमबारी की जाती है, जिससे परमाणु लक्ष्य सतह से बाहर निकल जाते हैं। इन छिड़काव वाले परमाणुओं को फिर एक सब्सट्रेट पर जमा किया जाता है, जिससे एक पतली फिल्म बनती है। स्पटरिंग लक्ष्य आमतौर पर अर्धचालक, सौर सेल और अन्य इलेक्ट्रॉनिक उपकरणों के उत्पादन में उपयोग किए जाते हैं। वे आम तौर पर धातुओं, मिश्र धातुओं या यौगिकों से बने होते हैं जिन्हें जमा फिल्म के वांछित गुणों के आधार पर चुना जाता है।
स्पटरिंग प्रक्रिया कई मापदंडों से प्रभावित होती है, जिनमें शामिल हैं:
1. स्पटरिंग शक्ति: स्पटरिंग प्रक्रिया के दौरान लगाई गई शक्ति की मात्रा स्पटर किए गए आयनों की ऊर्जा को प्रभावित करेगी, जिससे स्पटरिंग दर प्रभावित होगी।
2. स्पटरिंग गैस का दबाव: चैम्बर में स्पटरिंग गैस का दबाव स्पटरिंग आयनों के संवेग हस्तांतरण को प्रभावित करता है, जिससे स्पटरिंग दर और फिल्म प्रदर्शन प्रभावित होता है।
3. लक्ष्य गुण: स्पटरिंग लक्ष्य के भौतिक और रासायनिक गुण, जैसे इसकी संरचना, कठोरता, पिघलने बिंदु, आदि, स्पटरिंग प्रक्रिया और जमा फिल्म के प्रदर्शन को प्रभावित कर सकते हैं।
4. लक्ष्य और सब्सट्रेट के बीच की दूरी: स्पटरिंग लक्ष्य और सब्सट्रेट के बीच की दूरी स्पटरिंग परमाणुओं के प्रक्षेपवक्र और ऊर्जा को प्रभावित करेगी, जिससे फिल्म की जमाव दर और एकरूपता प्रभावित होगी।
5. पावर घनत्व: लक्ष्य सतह पर लागू पावर घनत्व स्पटरिंग दर और स्पटरिंग प्रक्रिया की दक्षता को प्रभावित करता है।
इन मापदंडों को सावधानीपूर्वक नियंत्रित और अनुकूलित करके, स्पटरिंग प्रक्रिया को वांछित फिल्म गुणों और जमाव दरों को प्राप्त करने के लिए तैयार किया जा सकता है।
पोस्ट समय: जून-13-2024