उच्च शुद्धता आयन प्रत्यारोपण टंगस्टन फिलामेंट
आयन इम्प्लांटेशन टंगस्टन तार आयन इम्प्लांटेशन मशीनों में उपयोग किया जाने वाला एक प्रमुख घटक है, मुख्य रूप से सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रियाओं में। इस प्रकार के टंगस्टन तार अर्धचालक उपकरण में एक महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हैं, और इसकी गुणवत्ता और प्रदर्शन सीधे आईसी प्रक्रिया लाइनों की दक्षता को प्रभावित करते हैं। आयन इम्प्लांटेशन मशीन वीएलएसआई (वेरी लार्ज स्केल इंटीग्रेटेड सर्किट) की निर्माण प्रक्रिया में एक महत्वपूर्ण उपकरण है, और आयन स्रोत के रूप में टंगस्टन तार की भूमिका को नजरअंदाज नहीं किया जा सकता है।
DIMENSIONS | आपके चित्र के रूप में |
उत्पत्ति का स्थान | लुओयांग, हेनान |
ब्रांड का नाम | एफजीडी |
आवेदन | अर्धचालक |
सतह | काली त्वचा, क्षार धुलाई, कार की चमक, पॉलिश |
पवित्रता | 99.95% |
सामग्री | W1 |
घनत्व | 19.3 ग्राम/सेमी3 |
निष्पादन मानक | जीबी/टी 4181-2017 |
गलनांक | 3400℃ |
अशुद्धता सामग्री | 0.005% |
मुख्य घटक | डब्ल्यू>99.95% |
अशुद्धता सामग्री≤ | |
Pb | 0.0005 |
Fe | 0.0020 |
S | 0.0050 |
P | 0.0005 |
C | 0.01 |
Cr | 0.0010 |
Al | 0.0015 |
Cu | 0.0015 |
K | 0.0080 |
N | 0.003 |
Sn | 0.0015 |
Si | 0.0020 |
Ca | 0.0015 |
Na | 0.0020 |
O | 0.008 |
Ti | 0.0010 |
Mg | 0.0010 |
1. हमारा कारखाना हेनान प्रांत के लुओयांग शहर में स्थित है। लुओयांग टंगस्टन और मोलिब्डेनम खदानों का उत्पादन क्षेत्र है, इसलिए हमें गुणवत्ता और कीमत में पूर्ण लाभ है;
2. हमारी कंपनी में 15 वर्षों से अधिक अनुभव वाले तकनीकी कर्मचारी हैं, और हम प्रत्येक ग्राहक की आवश्यकताओं के लिए लक्षित समाधान और सुझाव प्रदान करते हैं।
3. हमारे सभी उत्पाद निर्यात किए जाने से पहले सख्त गुणवत्ता निरीक्षण से गुजरते हैं।
4. यदि आपको ख़राब सामान मिलता है, तो आप रिफंड के लिए हमसे संपर्क कर सकते हैं।
1.कच्चे माल का चयन
(अंतिम उत्पाद की शुद्धता और यांत्रिक गुणों को सुनिश्चित करने के लिए उच्च गुणवत्ता वाले टंगस्टन कच्चे माल का चयन करें।)
2. पिघलना और शुद्धिकरण
(चयनित टंगस्टन कच्चे माल को अशुद्धियों को दूर करने और वांछित शुद्धता प्राप्त करने के लिए नियंत्रित वातावरण में पिघलाया जाता है।)
3. तार खींचना
(आवश्यक तार व्यास और यांत्रिक गुणों को प्राप्त करने के लिए शुद्ध टंगस्टन सामग्री को डाई की एक श्रृंखला के माध्यम से बाहर निकाला या खींचा जाता है।)
4. एनीलिंग
(खींचे गए टंगस्टन तार को आंतरिक तनाव को खत्म करने और इसकी लचीलापन और प्रसंस्करण प्रदर्शन में सुधार करने के लिए एनील्ड किया जाता है)
5. आयन प्रत्यारोपण प्रक्रिया
इस विशेष मामले में, टंगस्टन फिलामेंट स्वयं एक आयन प्रत्यारोपण प्रक्रिया से गुजर सकता है, जिसमें आयन इम्प्लांटर में प्रदर्शन को बढ़ाने के लिए इसके गुणों को बदलने के लिए आयनों को टंगस्टन फिलामेंट की सतह में इंजेक्ट किया जाता है।)
सेमीकंडक्टर चिप उत्पादन प्रक्रिया में, आयन इम्प्लांटेशन मशीन चिप सर्किट आरेख को मास्क से सिलिकॉन वेफर में स्थानांतरित करने और लक्ष्य चिप फ़ंक्शन को प्राप्त करने के लिए उपयोग किए जाने वाले प्रमुख उपकरणों में से एक है। इस प्रक्रिया में रासायनिक यांत्रिक पॉलिशिंग, पतली फिल्म जमाव, फोटोलिथोग्राफी, नक़्क़ाशी और आयन प्रत्यारोपण जैसे चरण शामिल हैं, जिनमें से आयन प्रत्यारोपण सिलिकॉन वेफर्स के प्रदर्शन को बेहतर बनाने के महत्वपूर्ण साधनों में से एक है। आयन इम्प्लांटेशन मशीनों का अनुप्रयोग चिप्स के प्रदर्शन और विश्वसनीयता में सुधार करते हुए, चिप उत्पादन के समय और लागत को प्रभावी ढंग से नियंत्रित करता है।
हाँ, आयन आरोपण प्रक्रिया के दौरान टंगस्टन फिलामेंट्स संदूषण के प्रति संवेदनशील होते हैं। संदूषण कई कारकों के कारण हो सकता है, जैसे अवशिष्ट गैसें, कण, या आयन आरोपण कक्ष में मौजूद अशुद्धियाँ। ये संदूषक टंगस्टन फिलामेंट की सतह पर चिपक सकते हैं, इसकी शुद्धता को प्रभावित कर सकते हैं और संभावित रूप से आयन आरोपण प्रक्रिया के प्रदर्शन को प्रभावित कर सकते हैं। इसलिए, आयन प्रत्यारोपण कक्ष के भीतर एक स्वच्छ और नियंत्रित वातावरण बनाए रखना संदूषण के जोखिम को कम करने और टंगस्टन फिलामेंट की अखंडता सुनिश्चित करने के लिए महत्वपूर्ण है। नियमित सफाई और रखरखाव प्रक्रियाएं भी आयन आरोपण के दौरान संदूषण की संभावना को कम करने में मदद कर सकती हैं।
टंगस्टन तार अपने उच्च गलनांक और उत्कृष्ट यांत्रिक गुणों के लिए जाना जाता है, जो इसे सामान्य आयन आरोपण स्थितियों के तहत विरूपण के प्रति प्रतिरोधी बनाता है। हालाँकि, उच्च-ऊर्जा आयन बमबारी और आयन आरोपण के दौरान उत्पन्न गर्मी समय के साथ विकृति पैदा कर सकती है, खासकर अगर प्रक्रिया मापदंडों को सावधानीपूर्वक नियंत्रित नहीं किया जाता है।
आयन बीम की तीव्रता और अवधि और टंगस्टन तार द्वारा अनुभव किए गए तापमान और तनाव के स्तर जैसे कारक विरूपण की संभावना में योगदान कर सकते हैं। इसके अतिरिक्त, टंगस्टन तार में कोई भी अशुद्धता या दोष विरूपण की संवेदनशीलता को बढ़ा देगा।
विरूपण के जोखिम को कम करने के लिए, प्रक्रिया मापदंडों की सावधानीपूर्वक निगरानी और नियंत्रण किया जाना चाहिए, टंगस्टन फिलामेंट की शुद्धता और गुणवत्ता सुनिश्चित की जानी चाहिए, और आयन प्रत्यारोपण उपकरण के लिए उचित रखरखाव और निरीक्षण प्रोटोकॉल लागू किए जाने चाहिए। टंगस्टन तार की स्थिति और प्रदर्शन का नियमित रूप से आकलन करने से विकृति के किसी भी संकेत की पहचान करने और आवश्यकतानुसार सुधारात्मक कार्रवाई करने में मदद मिल सकती है।