Sputter harikayan aiki ne da ake amfani da su don saka fina-finai na bakin ciki a kan abubuwan da ake amfani da su yayin aikin tara tururin jiki (PVD). Abubuwan da aka yi niyya ana jefa su da ions masu ƙarfi, yana haifar da fitar da kwayoyin halitta daga saman da aka yi niyya. Wadannan kwayoyin zarra da aka fesa ana zuba su a kan wani abu, suna yin fim na bakin ciki. Ana yawan amfani da maƙasudan zubewa wajen samar da na'urorin lantarki, sel na hasken rana da sauran na'urorin lantarki. Yawancin lokaci ana yin su da ƙarfe, gami ko mahadi waɗanda aka zaɓa bisa ga abubuwan da ake so na fim ɗin da aka ajiye.
Tsarin sputtering yana shafar sigogi da yawa, gami da:
1. Ƙarfin watsawa: Yawan ƙarfin da ake amfani da shi a lokacin aikin sputtering zai shafi makamashi na ions sputtered, wanda ya shafi yawan sputtering.
2. Matsakaicin iskar gas: Matsalolin iskar gas a cikin ɗakin yana rinjayar saurin canja wuri na ions sputtered, ta haka yana rinjayar ƙimar sputtering da aikin fim.
3. Abubuwan da aka yi niyya: Abubuwan da ke cikin jiki da sinadarai na maƙasudin sputtering, irin su abun da ke ciki, taurinsa, wurin narkewa, da dai sauransu, na iya shafar tsarin sputtering da aikin fim ɗin da aka ajiye.
4. Tazarar da ke tsakanin maƙasudi da maƙasudin: Nisa tsakanin maƙasudin sputtering da ƙwanƙwasa zai shafi yanayi da kuzarin atom ɗin da aka sputtered, wanda hakan zai shafi ƙimar ajiya da daidaiton fim ɗin.
5. Ƙarfin wutar lantarki: Ƙarfin wutar lantarki da aka yi amfani da shi a kan maƙasudin da aka yi amfani da shi yana rinjayar ƙimar sputtering da kuma yadda ya dace na tsarin sputtering.
Ta hanyar sarrafawa a hankali da haɓaka waɗannan sigogi, ana iya daidaita tsarin sputtering don cimma abubuwan da ake so na fim da ƙimar ajiya.
Lokacin aikawa: Juni-13-2024