સ્પુટર લક્ષ્યોભૌતિક વરાળ ડિપોઝિશન (PVD) પ્રક્રિયા દરમિયાન સબસ્ટ્રેટ પર પાતળી ફિલ્મો જમા કરવા માટે વપરાતી સામગ્રી છે.લક્ષ્ય સામગ્રી પર ઉચ્ચ-ઊર્જા આયનો સાથે બોમ્બમારો કરવામાં આવે છે, જેના કારણે અણુઓ લક્ષ્ય સપાટી પરથી બહાર નીકળી જાય છે.આ છાંટવામાં આવેલા અણુઓ પછી સબસ્ટ્રેટ પર જમા થાય છે, એક પાતળી ફિલ્મ બનાવે છે.સ્પટરિંગ ટાર્ગેટનો ઉપયોગ સામાન્ય રીતે સેમિકન્ડક્ટર્સ, સોલર સેલ અને અન્ય ઇલેક્ટ્રોનિક ઉપકરણોના ઉત્પાદનમાં થાય છે.તેઓ સામાન્ય રીતે ધાતુઓ, એલોય અથવા સંયોજનોથી બનેલા હોય છે જે જમા કરાયેલ ફિલ્મના ઇચ્છિત ગુણધર્મોના આધારે પસંદ કરવામાં આવે છે.

સ્પુટરિંગ પ્રક્રિયા ઘણા પરિમાણો દ્વારા પ્રભાવિત થાય છે, જેમાં નીચેનાનો સમાવેશ થાય છે:

1. સ્પુટરિંગ પાવર: સ્પુટરિંગ પ્રક્રિયા દરમિયાન લાગુ કરવામાં આવતી શક્તિની માત્રા સ્પુટર આયનોની ઊર્જાને અસર કરશે, જેનાથી સ્પુટરિંગ રેટને અસર થશે.

2. સ્પુટરિંગ ગેસ પ્રેશર: ચેમ્બરમાં સ્પુટરિંગ ગેસનું દબાણ સ્પુટર આયનોના વેગ ટ્રાન્સફરને અસર કરે છે, જેનાથી સ્પુટરિંગ રેટ અને ફિલ્મની કામગીરીને અસર થાય છે.

3. ટાર્ગેટ પ્રોપર્ટીઝ: સ્પુટરિંગ ટાર્ગેટના ભૌતિક અને રાસાયણિક ગુણધર્મો, જેમ કે તેની રચના, કઠિનતા, ગલનબિંદુ, વગેરે, સ્પુટરિંગ પ્રક્રિયા અને જમા થયેલી ફિલ્મના પ્રદર્શનને અસર કરી શકે છે.

4. ટાર્ગેટ અને સબસ્ટ્રેટ વચ્ચેનું અંતર: સ્પુટરિંગ ટાર્ગેટ અને સબસ્ટ્રેટ વચ્ચેનું અંતર સ્પુટર્ડ અણુઓની ગતિ અને ઊર્જાને અસર કરશે, જેનાથી ફિલ્મના ડિપોઝિશન રેટ અને એકરૂપતાને અસર થશે.

5. પાવર ડેન્સિટી: લક્ષિત સપાટી પર લાગુ પાવર ડેન્સિટી સ્પુટરિંગ રેટ અને સ્પુટરિંગ પ્રક્રિયાની કાર્યક્ષમતાને અસર કરે છે.

આ પરિમાણોને કાળજીપૂર્વક નિયંત્રિત અને ઑપ્ટિમાઇઝ કરીને, સ્પુટરિંગ પ્રક્રિયાને ઇચ્છિત ફિલ્મ ગુણધર્મો અને ડિપોઝિશન રેટ પ્રાપ્ત કરવા માટે તૈયાર કરી શકાય છે.