સ્પુટરિંગ પ્રક્રિયામાં સ્પુટરિંગ રેટ વધારવાની ઘણી રીતો છે:

1. પાવર અને પ્રેશર ઓપ્ટિમાઇઝેશન: સ્પટરિંગ સિસ્ટમમાં પાવર અને પ્રેશર પરિમાણોને સમાયોજિત કરવાથી સ્પુટરિંગ રેટને અસર થઈ શકે છે. પાવર વધારવાથી અને દબાણની સ્થિતિને ઑપ્ટિમાઇઝ કરવાથી સ્પુટરિંગ રેટમાં વધારો થઈ શકે છે, જેનાથી પાતળી ફિલ્મ ઝડપથી જમા થાય છે.

2. લક્ષ્ય સામગ્રી અને ભૂમિતિ: ઑપ્ટિમાઇઝ સામગ્રીની રચના અને ભૂમિતિ સાથે સ્પુટરિંગ લક્ષ્યોનો ઉપયોગ કરવાથી સ્પુટરિંગ દરમાં સુધારો થઈ શકે છે. ઉચ્ચ-ગુણવત્તાવાળા, સારી રીતે રચાયેલ સ્પુટરિંગ લક્ષ્યો સ્પુટરિંગ કાર્યક્ષમતાને વધારી શકે છે અને ઉચ્ચ ડિપોઝિશન રેટ તરફ દોરી શકે છે.

3. લક્ષ્ય સપાટીની તૈયારી: સ્પુટરિંગ લક્ષ્ય સપાટીની યોગ્ય સફાઈ અને કન્ડિશનિંગ સ્પુટરિંગ દરમાં વધારો કરવામાં ફાળો આપી શકે છે. લક્ષ્ય સપાટી દૂષકો અને ઓક્સાઇડથી મુક્ત છે તેની ખાતરી કરવાથી સ્પુટરિંગ કાર્યક્ષમતામાં સુધારો થઈ શકે છે.

4. સબસ્ટ્રેટ તાપમાન: સબસ્ટ્રેટ તાપમાનને નિયંત્રિત કરવાથી સ્પુટરિંગ રેટ પર અસર થઈ શકે છે. કેટલાક કિસ્સાઓમાં, ચોક્કસ શ્રેણીની અંદર સબસ્ટ્રેટનું તાપમાન વધારવાથી સ્પુટરિંગ દરમાં વધારો થાય છે અને ફિલ્મની ગુણવત્તામાં સુધારો થઈ શકે છે.

5. ગેસ ફ્લો અને કમ્પોઝિશન: સ્પુટરિંગ ચેમ્બરમાં ગેસ ફ્લો અને કમ્પોઝિશનને ઑપ્ટિમાઇઝ કરવાથી સ્પુટરિંગ રેટને અસર થઈ શકે છે. ગેસના પ્રવાહના દરને સમાયોજિત કરીને અને યોગ્ય સ્પુટરિંગ ગેસ મિશ્રણનો ઉપયોગ કરવાથી સ્પુટરિંગ પ્રક્રિયાની કાર્યક્ષમતા વધી શકે છે.

આ પરિબળોને કાળજીપૂર્વક ધ્યાનમાં લઈને અને સ્પુટરિંગ પ્રક્રિયાના પરિમાણોને ઑપ્ટિમાઇઝ કરીને, સ્પુટરિંગ રેટમાં વધારો કરવો અને સ્પુટરિંગ એપ્લીકેશન્સમાં પાતળી ફિલ્મ ડિપોઝિશનની એકંદર કાર્યક્ષમતામાં સુધારો કરવો શક્ય છે.