Filamento de tungsteno de implantación iónica de alta pureza
O fío de tungsteno de implantación iónica é un compoñente clave utilizado nas máquinas de implantación iónica, principalmente nos procesos de fabricación de semicondutores. Este tipo de fío de wolframio xoga un papel importante nos equipos de semicondutores e a súa calidade e rendemento afectan directamente a eficiencia das liñas de proceso IC. A máquina de implantación iónica é un equipo clave no proceso de fabricación de VLSI (circuíto integrado a moi grande escala) e non se pode ignorar o papel do fío de wolframio como fonte de iones.
Dimensións | Como os teus debuxos |
Lugar de orixe | Luoyang, Henan |
Nome da marca | FGD |
Aplicación | semicondutor |
Superficie | Pel negra, lavado alcalino, brillo do coche, pulido |
Pureza | 99,95 % |
Material | W1 |
Densidade | 19,3 g/cm3 |
Normas de execución | GB/T 4181-2017 |
Punto de fusión | 3400℃ |
Contido de impurezas | 0,005 % |
Principais compoñentes | W>99,95 % |
Contido de impurezas≤ | |
Pb | 0,0005 |
Fe | 0,0020 |
S | 0,0050 |
P | 0,0005 |
C | 0,01 |
Cr | 0,0010 |
Al | 0,0015 |
Cu | 0,0015 |
K | 0,0080 |
N | 0,003 |
Sn | 0,0015 |
Si | 0,0020 |
Ca | 0,0015 |
Na | 0,0020 |
O | 0,008 |
Ti | 0,0010 |
Mg | 0,0010 |
1. A nosa fábrica está situada na cidade de Luoyang, provincia de Henan. Luoyang é unha área de produción de minas de volframio e molibdeno, polo que temos vantaxes absolutas en calidade e prezo;
2. A nosa empresa conta con persoal técnico con máis de 15 anos de experiencia e ofrecemos solucións e suxestións dirixidas ás necesidades de cada cliente.
3. Todos os nosos produtos son sometidos a unha estrita inspección de calidade antes de ser exportados.
4. Se recibes produtos defectuosos, podes contactar connosco para solicitar un reembolso.
1.Selección de materias primas
(Seleccione materias primas de wolframio de alta calidade para garantir a pureza e as propiedades mecánicas do produto final. )
2. Fusión e Purificación
(As materias primas de wolframio seleccionadas fúndense nun ambiente controlado para eliminar as impurezas e acadar a pureza desexada).
3. Trefilado
(O material de tungsteno purificado extrúese ou estiráse a través dunha serie de matrices para acadar o diámetro do fío e as propiedades mecánicas necesarias).
4.Recocido
(O fío de wolframio estirado é recocido para eliminar a tensión interna e mellorar a súa ductilidade e o seu rendemento de procesamento )
5. Proceso de implantación iónica
Neste caso particular, o propio filamento de wolframio pode sufrir un proceso de implantación de ións, no que se inxectan ións na superficie do filamento de wolframio para cambiar as súas propiedades para mellorar o rendemento no implantador de ións.)
No proceso de produción de chips de semicondutores, a máquina de implantación iónica é un dos equipos fundamentais que se usan para transferir o diagrama de circuíto de chip da máscara á oblea de silicio e conseguir a función do chip obxectivo. Este proceso inclúe pasos como o pulido químico-mecánico, a deposición de película fina, a fotolitografía, o gravado e a implantación iónica, entre as que a implantación iónica é un dos medios importantes para mellorar o rendemento das obleas de silicio. A aplicación de máquinas de implantación iónica controla eficazmente o tempo e o custo da produción de chips, á vez que mellora o rendemento e a fiabilidade dos chips.
Si, os filamentos de wolframio son susceptibles de contaminarse durante o proceso de implantación iónica. A contaminación pode ocorrer debido a unha variedade de factores, como gases residuais, partículas ou impurezas presentes na cámara de implantación iónica. Estes contaminantes poden adherirse á superficie do filamento de wolframio, afectando a súa pureza e potencialmente afectando o rendemento do proceso de implantación de ións. Polo tanto, manter un ambiente limpo e controlado dentro da cámara de implantación iónica é fundamental para minimizar o risco de contaminación e garantir a integridade do filamento de wolframio. Os procedementos de limpeza e mantemento regulares tamén poden axudar a mitigar o potencial de contaminación durante a implantación iónica.
O fío de wolframio é coñecido polo seu alto punto de fusión e excelentes propiedades mecánicas, que o fan resistente á deformación en condicións normais de implantación iónica. Non obstante, a calor xerada durante o bombardeo iónico de alta enerxía e a implantación de iones pode causar distorsións ao longo do tempo, especialmente se os parámetros do proceso non se controlan coidadosamente.
Factores como a intensidade e duración do feixe iónico e os niveis de temperatura e tensión experimentados polo fío de wolframio poden contribuír ao potencial de deformación. Ademais, calquera impureza ou defecto no fío de wolframio agravará a susceptibilidade á deformación.
Para reducir o risco de deformación, os parámetros do proceso deben supervisarse e controlarse coidadosamente, garantir a pureza e calidade do filamento de wolframio e implementar protocolos de mantemento e inspección adecuados para os equipos de implantación iónica. Avaliar regularmente o estado e o rendemento do fío de wolframio pode axudar a identificar calquera signo de distorsión e tomar as medidas correctoras necesarias.