Filament de tungstène à implantation ionique de haute pureté
Le fil de tungstène à implantation ionique est un composant clé utilisé dans les machines d’implantation ionique, principalement dans les processus de fabrication de semi-conducteurs. Ce type de fil de tungstène joue un rôle important dans les équipements semi-conducteurs, et sa qualité et ses performances affectent directement l'efficacité des lignes de traitement IC. La machine d'implantation d'ions est un équipement clé dans le processus de fabrication du VLSI (circuit intégré à très grande échelle), et le rôle du fil de tungstène en tant que source d'ions ne peut être ignoré.
| Dimensions | Comme tes dessins |
| Lieu d'origine | Luoyang, Henan |
| Nom de la marque | Groupe de discussion |
| Application | semi-conducteur |
| Surface | Peau noire, lavage alcalin, brillance de voiture, poli |
| Pureté | 99,95% |
| Matériel | W1 |
| Densité | 19,3g/cm3 |
| Normes d'exécution | GB/T4181-2017 |
| Point de fusion | 3400℃ |
| Teneur en impuretés | 0,005% |
| Principaux composants | W>99,95 % |
| Teneur en impuretés≤ | |
| Pb | 0,0005 |
| Fe | 0,0020 |
| S | 0,0050 |
| P | 0,0005 |
| C | 0,01 |
| Cr | 0,0010 |
| Al | 0,0015 |
| Cu | 0,0015 |
| K | 0,0080 |
| N | 0,003 |
| Sn | 0,0015 |
| Si | 0,0020 |
| Ca | 0,0015 |
| Na | 0,0020 |
| O | 0,008 |
| Ti | 0,0010 |
| Mg | 0,0010 |
1. Notre usine est située dans la ville de Luoyang, province du Henan. Luoyang est une zone de production de mines de tungstène et de molybdène, nous bénéficions donc d'avantages absolus en termes de qualité et de prix ;
2. Notre entreprise dispose d'un personnel technique avec plus de 15 ans d'expérience et nous proposons des solutions et des suggestions ciblées pour les besoins de chaque client.
3. Tous nos produits sont soumis à un contrôle de qualité strict avant d'être exportés.
4. Si vous recevez des marchandises défectueuses, vous pouvez nous contacter pour un remboursement.
1. Sélection des matières premières
(Sélectionnez des matières premières en tungstène de haute qualité pour garantir la pureté et les propriétés mécaniques du produit final. )
2. Fusion et purification
(Les matières premières de tungstène sélectionnées sont fondues dans un environnement contrôlé pour éliminer les impuretés et atteindre la pureté souhaitée.)
3. Tréfilage
(Le tungstène purifié est extrudé ou étiré à travers une série de matrices pour obtenir le diamètre de fil et les propriétés mécaniques requis.)
4.Recuit
(Le fil de tungstène étiré est recuit pour éliminer les contraintes internes et améliorer sa ductilité et ses performances de traitement )
5. Processus d’implantation d’ions
Dans ce cas particulier, le filament de tungstène lui-même peut subir un processus d'implantation ionique, dans lequel des ions sont injectés dans la surface du filament de tungstène pour modifier ses propriétés afin d'améliorer les performances de l'implanteur ionique.)
Dans le processus de production de puces semi-conductrices, la machine d'implantation ionique est l'un des équipements clés utilisés pour transférer le schéma de circuit de la puce du masque à la plaquette de silicium et réaliser la fonction de puce cible. Ce processus comprend des étapes telles que le polissage chimico-mécanique, le dépôt de couches minces, la photolithographie, la gravure et l'implantation ionique, parmi lesquelles l'implantation ionique est l'un des moyens importants pour améliorer les performances des tranches de silicium. L'application de machines d'implantation ionique contrôle efficacement le temps et le coût de production des puces, tout en améliorant les performances et la fiabilité des puces.
Oui, les filaments de tungstène sont susceptibles d'être contaminés pendant le processus d'implantation ionique. La contamination peut survenir en raison de divers facteurs, tels que des gaz résiduels, des particules ou des impuretés présentes dans la chambre d'implantation ionique. Ces contaminants peuvent adhérer à la surface du filament de tungstène, affectant sa pureté et potentiellement affectant les performances du processus d'implantation ionique. Par conséquent, le maintien d’un environnement propre et contrôlé au sein de la chambre d’implantation ionique est essentiel pour minimiser le risque de contamination et garantir l’intégrité du filament de tungstène. Des procédures régulières de nettoyage et d’entretien peuvent également contribuer à atténuer le risque de contamination lors de l’implantation ionique.
Le fil de tungstène est connu pour son point de fusion élevé et ses excellentes propriétés mécaniques, qui le rendent résistant à la déformation dans des conditions normales d'implantation ionique. Cependant, la chaleur générée lors du bombardement ionique à haute énergie et de l’implantation ionique peut provoquer une distorsion au fil du temps, en particulier si les paramètres du processus ne sont pas soigneusement contrôlés.
Des facteurs tels que l'intensité et la durée du faisceau d'ions ainsi que les niveaux de température et de contrainte subis par le fil de tungstène peuvent tous contribuer au potentiel de déformation. De plus, toute impureté ou défaut dans le fil de tungstène exacerbera la susceptibilité à la déformation.
Pour réduire le risque de déformation, les paramètres du processus doivent être soigneusement surveillés et contrôlés, la pureté et la qualité du filament de tungstène doivent être assurées et des protocoles de maintenance et d'inspection appropriés doivent être mis en œuvre pour l'équipement d'implantation ionique. L'évaluation régulière de l'état et des performances du fil de tungstène peut aider à identifier tout signe de distorsion et à prendre des mesures correctives si nécessaire.
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