Erittäin puhdas ioni-implantaatiovolframifilamentti
Ioni-istutusvolframilanka on avainkomponentti, jota käytetään ioni-istutuskoneissa, pääasiassa puolijohteiden valmistusprosesseissa. Tämän tyyppisellä volframilangalla on tärkeä rooli puolijohdelaitteessa, ja sen laatu ja suorituskyky vaikuttavat suoraan IC-prosessilinjojen tehokkuuteen. Ioni-istutuskone on avainlaite VLSI:n (Very Large Scale Integrated Circuit) valmistusprosessissa, eikä volframilangan roolia ionilähteenä voida jättää huomiotta.
| Mitat | Kuten piirustuksissasi |
| Alkuperäpaikka | Luoyang, Henan |
| Tuotemerkki | FGD |
| Sovellus | puolijohde |
| Pinta | Musta nahka, alkalipesu, auton kiilto, kiillotettu |
| Puhtaus | 99,95 % |
| Materiaali | W1 |
| Tiheys | 19,3 g/cm3 |
| Toteutusstandardit | GB/T 4181-2017 |
| Sulamispiste | 3400 ℃ |
| Epäpuhtauspitoisuus | 0,005 % |
| Pääkomponentit | W＞ 99,95 % |
| Epäpuhtauspitoisuus ≤ | |
| Pb | 0,0005 |
| Fe | 0,0020 |
| S | 0,0050 |
| P | 0,0005 |
| C | 0,01 |
| Cr | 0,0010 |
| Al | 0,0015 |
| Cu | 0,0015 |
| K | 0,0080 |
| N | 0,003 |
| Sn | 0,0015 |
| Si | 0,0020 |
| Ca | 0,0015 |
| Na | 0,0020 |
| O | 0,008 |
| Ti | 0,0010 |
| Mg | 0,0010 |
1. Tehtaamme sijaitsee Luoyang Cityssä, Henanin maakunnassa. Luoyang on volframi- ja molybdeenikaivosten tuotantoalue, joten meillä on ehdottomia etuja laadussa ja hinnassa;
2. Yrityksellämme on teknistä henkilöstöä yli 15 vuoden kokemuksella ja tarjoamme kohdennettuja ratkaisuja ja ehdotuksia jokaisen asiakkaan tarpeisiin.
3. Kaikille tuotteillemme tehdään tiukka laatutarkastus ennen vientiä.
4. Jos saat viallisia tuotteita, voit ottaa meihin yhteyttä hyvitystä varten.
1. Raaka-aineiden valinta
(Valitse korkealaatuiset volframiraaka-aineet varmistaaksesi lopputuotteen puhtauden ja mekaaniset ominaisuudet. )
2. Sulatus ja puhdistus
(Valitut volframiraaka-aineet sulatetaan valvotussa ympäristössä epäpuhtauksien poistamiseksi ja halutun puhtauden saavuttamiseksi.)
3. Johdinveto
(Puhdastettu volframimateriaali suulakepuristetaan tai vedetään suulakesarjan läpi vaaditun langan halkaisijan ja mekaanisten ominaisuuksien saavuttamiseksi.)
4. Hehkutus
(Vedetty volframilanka hehkutetaan sisäisen jännityksen poistamiseksi ja sen taipuisuuden ja prosessointikyvyn parantamiseksi )
5. Ioni-istutusprosessi
Tässä nimenomaisessa tapauksessa itse volframifilamentti voi käydä läpi ioni-istutusprosessin, jossa ioneja ruiskutetaan volframifilamentin pintaan sen ominaisuuksien muuttamiseksi ioni-istuttimen suorituskyvyn parantamiseksi.)
Puolijohdesirun tuotantoprosessissa ioni-istutuskone on yksi tärkeimmistä laitteista, joita käytetään sirun piirikaavion siirtämiseen maskista piikiekkoon ja tavoitepiirin toiminnon saavuttamiseksi. Tämä prosessi sisältää vaiheita, kuten kemiallinen mekaaninen kiillotus, ohutkalvopinnoitus, fotolitografia, syövytys ja ioni-istutus, joista ioni-istutus on yksi tärkeimmistä tavoista parantaa piikiekkojen suorituskykyä. Ioni-implantaatiokoneiden käyttö hallitsee tehokkaasti sirujen valmistuksen aikaa ja kustannuksia samalla kun se parantaa sirujen suorituskykyä ja luotettavuutta.
Kyllä, volframifilamentit ovat alttiita kontaminaatiolle ioni-istutusprosessin aikana. Kontaminaatio voi johtua useista tekijöistä, kuten jäännöskaasuista, hiukkasista tai ioni-istutuskammiossa olevista epäpuhtauksista. Nämä epäpuhtaudet voivat tarttua volframifilamentin pintaan vaikuttaen sen puhtauteen ja mahdollisesti ioni-istutusprosessin suorituskykyyn. Siksi puhtaan ja kontrolloidun ympäristön ylläpitäminen ioni-istutuskammiossa on ratkaisevan tärkeää kontaminaatioriskin minimoimiseksi ja volframifilamentin eheyden varmistamiseksi. Säännölliset puhdistus- ja huoltotoimenpiteet voivat myös auttaa vähentämään kontaminaation mahdollisuutta ioni-istutuksen aikana.
Volframilanka tunnetaan korkeasta sulamispisteestään ja erinomaisista mekaanisista ominaisuuksistaan, jotka tekevät siitä kestävän muodonmuutoksia normaaleissa ioni-istutusolosuhteissa. Suurienergisen ionipommituksen ja ioni-istutuksen aikana syntyvä lämpö voi kuitenkin aiheuttaa vääristymiä ajan myötä, varsinkin jos prosessiparametreja ei valvota huolellisesti.
Tekijät, kuten ionisäteen intensiteetti ja kesto sekä volframilangan kokemat lämpötila- ja jännitystasot, voivat kaikki vaikuttaa mahdolliseen muodonmuutokseen. Lisäksi kaikki volframilangan epäpuhtaudet tai viat lisäävät muodonmuutosherkkyyttä.
Muodonmuutosriskin vähentämiseksi prosessiparametreja on tarkkailtava ja valvottava huolellisesti, volframifilamentin puhtaus ja laatu on varmistettava ja ioni-istutuslaitteistolle on otettava käyttöön asianmukaiset huolto- ja tarkastusprotokollat. Volframilangan kunnon ja suorituskyvyn säännöllinen arviointi voi auttaa tunnistamaan vääristymisen merkit ja ryhtymään korjaaviin toimiin tarvittaessa.
