Garbitasun handiko ioiak inplantatzeko wolframio harizpiak
Ioi-inplantazioko wolframio-harria ioi-inplantazio-makinetan erabiltzen den funtsezko osagaia da, batez ere erdieroaleen fabrikazio-prozesuetan. Wolframio-hari mota honek erdieroaleen ekipoetan zeregin garrantzitsua du, eta bere kalitateak eta errendimenduak zuzenean eragiten du IC prozesu-lerroen eraginkortasuna. Ioiak ezartzeko makina funtsezko ekipamendua da VLSI (Very Large Scale Integrated Circuit) fabrikazio-prozesuan, eta wolframio-hariaren papera ioi-iturri gisa ezin da alde batera utzi. .
| Neurriak | Zure marrazkiak bezala |
| Jatorri lekua | Luoyang, Henan |
| Marka Izena | FGD |
| Aplikazioa | erdieroale |
| Azalera | Azala beltza, garbiketa alkalinoa, autoaren distira, leundua |
| Garbitasuna | %99,95 |
| Materiala | W1 |
| Dentsitatea | 19,3g/cm3 |
| Exekuzio-arauak | GB/T 4181-2017 |
| Urtze-puntua | 3400℃ |
| Ezpurutasun edukia | %0,005 |
| Osagai nagusiak | W>% 99,95 |
| Ezpurutasun edukia≤ | |
| Pb | 0,0005 |
| Fe | 0,0020 |
| S | 0,0050 |
| P | 0,0005 |
| C | 0,01 |
| Cr | 0,0010 |
| Al | 0,0015 |
| Cu | 0,0015 |
| K | 0,0080 |
| N | 0,003 |
| Sn | 0,0015 |
| Si | 0,0020 |
| Ca | 0,0015 |
| Na | 0,0020 |
| O | 0,008 |
| Ti | 0,0010 |
| Mg | 0,0010 |
1. Gure fabrika Luoyang hirian dago, Henan probintzian. Luoyang wolframio eta molibdeno meategien ekoizpen eremua da, beraz, kalitatean eta prezioan erabateko abantailak ditugu;
2. Gure enpresak 15 urte baino gehiagoko esperientzia duten langile teknikoak ditu, eta bezero bakoitzaren beharretara zuzendutako irtenbideak eta iradokizunak eskaintzen ditugu.
3. Gure produktu guztiek kalitate-ikuskapen zorrotza egiten dute esportatu aurretik.
4. Salgai akastunak jasotzen badituzu, gurekin harremanetan jar zaitezke itzultzeko.
1.Lehengaien hautaketa
(Hautatu kalitate handiko wolframioko lehengaiak azken produktuaren purutasuna eta propietate mekanikoak ziurtatzeko. )
2. Urtzea eta Arazketa
(Hautatutako wolframioko lehengaiak ingurune kontrolatu batean urtzen dira ezpurutasunak kentzeko eta nahi den garbitasuna lortzeko).
3. Trefiladura
(Tungsteno-material purifikatua trokel batzuen bidez estruitu edo marrazten da beharrezko hari-diametroa eta propietate mekanikoak lortzeko.)
4.Errekuntza
(Marraztutako wolframio-harria erretu egiten da barneko tentsioa kentzeko eta harikortasuna eta prozesatzeko errendimendua hobetzeko)
5. Ioiak ezartzeko prozesua
Kasu zehatz honetan, wolframio-harizpiak berak ioien inplantazio-prozesu bat jasan dezake, zeinean ioiak wolframio-harizpiaren gainazalean injektatzen diren bere propietateak aldatzeko, ioi-inplantatzailearen errendimendua hobetzeko.)
Txip erdieroaleen ekoizpen-prozesuan, ioiak inplantatzeko makina txip-zirkuitu diagrama maskaratik silizio-obleara transferitzeko eta helburuko txiparen funtzioa lortzeko erabiltzen den ekipamendu gakoetako bat da. Prozesu honek leunketa mekaniko kimikoa, film meheen deposizioa, fotolitografia, akuafortea eta ioien inplantazioa bezalako urratsak barne hartzen ditu, eta horien artean ioien inplantazioa da siliziozko obleen errendimendua hobetzeko baliabide garrantzitsuenetako bat. Ioiak inplantatzeko makinen aplikazioak txiparen ekoizpenaren denbora eta kostua modu eraginkorrean kontrolatzen ditu, txirren errendimendua eta fidagarritasuna hobetzen dituen bitartean. .
Bai, wolframio-harizpiak kutsadura jasan dezakete ioiak ezartzeko prozesuan. Kutsadura hainbat faktoreren ondorioz gerta daiteke, hala nola ioiak inplantatzeko ganberan dauden hondar gasak, partikulak edo ezpurutasunak. Kutsatzaile horiek wolframio-harizpiaren gainazalean atxiki daitezke, haren garbitasunari eraginez eta ioien inplantazio-prozesuaren errendimenduari eraginez. Hori dela eta, ioien inplantazio-ganberaren barruan ingurune garbi eta kontrolatua mantentzea funtsezkoa da kutsadura arriskua gutxitzeko eta wolframio-harizpiaren osotasuna bermatzeko. Garbiketa- eta mantentze-prozedura erregularrak ere lagun dezakete ioiak ezartzean kutsatzeko aukera arintzen.
Tungsteno alanbrea bere urtze-puntu altuagatik eta propietate mekaniko bikainengatik ezaguna da, deformazioarekiko erresistentea egiten baitute ioien inplantazio-baldintza normaletan. Hala ere, energia handiko ioien bonbardaketak eta ioiak ezartzean sortutako beroak denboran zehar distortsioa eragin dezake, batez ere prozesu-parametroak arretaz kontrolatzen ez badira.
Ioi-izpiaren intentsitatea eta iraupena eta wolframio-hariak jasaten dituen tenperatura eta tentsio-maila bezalako faktoreek deformazio-potentziala lagundu dezakete. Gainera, wolframioko hariaren edozein ezpurutasun edo akatsek deformaziorako suszeptibilitatea areagotu egingo dute.
Deformazio-arriskua murrizteko, prozesu-parametroak arretaz kontrolatu eta kontrolatu behar dira, wolframio-harizpiaren garbitasuna eta kalitatea bermatu behar dira, eta ioiak inplantatzeko ekipoetarako mantentze- eta ikuskapen-protokolo egokiak ezarri behar dira. Tungsteno-hariaren egoera eta errendimendua aldian-aldian ebaluatzeak distortsio zantzuak identifikatzen lagun dezake eta beharrezko neurriak hartzen ditu.
