Sputtercelojestas materialoj uzitaj por deponi maldikajn filmojn sur substratoj dum la fizika vapordemetado (PVD) procezo.La celmaterialo estas bombadita kun alt-energiaj jonoj, igante atomojn esti elĵetitaj de la celsurfaco.Tiuj ŝprucitaj atomoj tiam estas deponitaj sur substrato, formante maldikan filmon.Sputteraj celoj estas ofte uzitaj en la produktado de duonkonduktaĵoj, sunĉeloj kaj aliaj elektronikaj aparatoj.Ili estas kutime faritaj el metaloj, alojoj aŭ kunmetaĵoj kiuj estas elektitaj surbaze de la dezirataj trajtoj de la deponita filmo.

La ŝprucprocezo estas tuŝita de pluraj parametroj, inkluzive de:

1. Sputtering potenco: La kvanto de potenco aplikita dum la sputtering procezo influos la energion de la sputtered jonoj, tiel influante la sputtering indico.

2. Sputtering gaso premo: La premo de la sputtering gaso en la ĉambro influas la movokvanto translokigon de sputtered jonoj, tiel influante la sputtering indico kaj filmo rendimento.

3. Celaj propraĵoj: La fizikaj kaj kemiaj propraĵoj de la sputter-celo, kiel ĝia komponado, malmoleco, fandpunkto, ktp., povas influi la sputteran procezon kaj la agadon de la deponita filmo.

4. La distanco inter la celo kaj la substrato: La distanco inter la sputtering celo kaj la substrato influos la trajektorion kaj energion de la sputtered atomoj, tiel influante la deponado imposto kaj unuformeco de la filmo.

5. Potenca denseco: La potenco denseco aplikita al la cela surfaco influas la sputtering-rapidecon kaj la efikecon de la sputtering procezo.

Singarde kontrolante kaj optimumigante ĉi tiujn parametrojn, la ŝprucprocezo povas esti tajlorita por atingi deziratajn filmajn proprietojn kaj deponajn indicojn.