Vysoce čisté iontové implantační wolframové vlákno
Wolframový drát pro iontovou implantaci je klíčovou komponentou používanou ve strojích pro iontovou implantaci, zejména v procesech výroby polovodičů. Tento typ wolframového drátu hraje důležitou roli v polovodičových zařízeních a jeho kvalita a výkon přímo ovlivňují účinnost procesních linek IC. Iontový implantační stroj je klíčovým zařízením ve výrobním procesu VLSI (Very Large Scale Integrated Circuit) a nelze ignorovat roli wolframového drátu jako zdroje iontů.
| Rozměry | Jako vaše kresby |
| Místo původu | Luoyang, Henan |
| Název značky | FGD |
| Aplikace | polovodič |
| Povrch | Černá kůže, alkalické mytí, lesk auta, leštěno |
| Čistota | 99,95 % |
| Materiál | W1 |
| Hustota | 19,3 g/cm3 |
| Prováděcí normy | GB/T 4181-2017 |
| Bod tání | 3400 ℃ |
| Obsah nečistot | 0,005 % |
| Hlavní komponenty | W＞ 99,95 % |
| Obsah nečistot≤ | |
| Pb | 0,0005 |
| Fe | 0,0020 |
| S | 0,0050 |
| P | 0,0005 |
| C | 0,01 |
| Cr | 0,0010 |
| Al | 0,0015 |
| Cu | 0,0015 |
| K | 0,0080 |
| N | 0,003 |
| Sn | 0,0015 |
| Si | 0,0020 |
| Ca | 0,0015 |
| Na | 0,0020 |
| O | 0,008 |
| Ti | 0,0010 |
| Mg | 0,0010 |
1. Naše továrna se nachází ve městě Luoyang v provincii Henan. Luoyang je výrobní oblastí pro wolframové a molybdenové doly, takže máme absolutní výhody v kvalitě a ceně;
2. Naše společnost má technický personál s více než 15letými zkušenostmi a poskytujeme cílená řešení a návrhy pro potřeby každého zákazníka.
3. Všechny naše produkty procházejí před exportem přísnou kontrolou kvality.
4. Pokud obdržíte vadné zboží, můžete nás kontaktovat pro vrácení peněz.
1.Výběr surovin
(Vyberte vysoce kvalitní wolframové suroviny, abyste zajistili čistotu a mechanické vlastnosti konečného produktu. )
2. Tavení a čištění
(Vybrané wolframové suroviny se taví v kontrolovaném prostředí, aby se odstranily nečistoty a dosáhlo se požadované čistoty.)
3. Tažení drátu
(Vyčištěný wolframový materiál je vytlačován nebo tažen řadou matric, aby se dosáhlo požadovaného průměru drátu a mechanických vlastností.)
4.Žíhání
(Tažený wolframový drát je žíhán, aby se odstranilo vnitřní pnutí a zlepšila se jeho tažnost a zpracovatelský výkon )
5. Proces iontové implantace
V tomto konkrétním případě může samotné wolframové vlákno podstoupit proces iontové implantace, při kterém jsou ionty vstřikovány do povrchu wolframového vlákna, aby se změnily jeho vlastnosti, aby se zlepšil výkon v iontovém implantátoru.)
V procesu výroby polovodičových čipů je stroj na implantaci iontů jedním z klíčových zařízení používaných k přenosu schématu obvodu čipu z masky na křemíkový plátek a dosažení cílové funkce čipu. Tento proces zahrnuje kroky, jako je chemické mechanické leštění, nanášení tenkých vrstev, fotolitografie, leptání a iontová implantace, mezi nimiž je iontová implantace jedním z důležitých prostředků ke zlepšení výkonu křemíkových plátků. Aplikace strojů pro iontovou implantaci účinně kontroluje čas a náklady na výrobu čipů a zároveň zlepšuje výkon a spolehlivost čipů.
Ano, wolframová vlákna jsou během procesu iontové implantace náchylná ke kontaminaci. Ke kontaminaci může dojít v důsledku řady faktorů, jako jsou zbytkové plyny, částice nebo nečistoty přítomné v komoře pro implantaci iontů. Tyto nečistoty mohou ulpívat na povrchu wolframového vlákna, ovlivňovat jeho čistotu a potenciálně ovlivňovat výkon procesu iontové implantace. Proto je udržování čistého a kontrolovaného prostředí v komoře pro iontovou implantaci zásadní pro minimalizaci rizika kontaminace a zajištění integrity wolframového vlákna. Pravidelné postupy čištění a údržby mohou také pomoci zmírnit možnost kontaminace během implantace iontů.
Wolframový drát je známý pro svůj vysoký bod tání a vynikající mechanické vlastnosti, díky kterým je odolný vůči deformaci za normálních podmínek iontové implantace. Teplo generované během vysokoenergetického ostřelování ionty a iontové implantace však může časem způsobit zkreslení, zejména pokud parametry procesu nejsou pečlivě kontrolovány.
Faktory, jako je intenzita a trvání iontového paprsku a teplota a úrovně napětí, kterým je wolframový drát vystaven, mohou přispívat k potenciálu deformace. Kromě toho jakékoli nečistoty nebo defekty ve wolframovém drátu zhorší náchylnost k deformaci.
Aby se snížilo riziko deformace, musí být pečlivě sledovány a kontrolovány parametry procesu, musí být zajištěna čistota a kvalita wolframového vlákna a musí být zavedeny vhodné protokoly údržby a kontroly zařízení pro iontovou implantaci. Pravidelné hodnocení stavu a výkonu wolframového drátu může pomoci identifikovat jakékoli známky zkreslení a podle potřeby přijmout nápravná opatření.
