Objectius de pulveritzaciósón materials utilitzats per dipositar pel·lícules primes sobre substrats durant el procés de deposició física de vapor (PVD).El material objectiu és bombardejat amb ions d'alta energia, fent que els àtoms siguin expulsats de la superfície objectiu.Aquests àtoms ruixats es dipositen després sobre un substrat, formant una pel·lícula fina.Els objectius de pulverització s'utilitzen habitualment en la producció de semiconductors, cèl·lules solars i altres dispositius electrònics.Normalment estan fets de metalls, aliatges o compostos que es seleccionen en funció de les propietats desitjades de la pel·lícula dipositada.

El procés de pulverització es veu afectat per diversos paràmetres, com ara:

1. Potència de pulverització: la quantitat d'energia aplicada durant el procés de pulverització afectarà l'energia dels ions pulverulats, afectant així la velocitat de pulverització.

2. Pressió del gas de pulverització: la pressió del gas de pulverització a la cambra afecta la transferència d'impuls dels ions pulverulats, afectant així la velocitat de pulverització i el rendiment de la pel·lícula.

3. Propietats de l'objectiu: les propietats físiques i químiques de l'objectiu de la polsadora, com ara la seva composició, duresa, punt de fusió, etc., poden afectar el procés de pols i el rendiment de la pel·lícula dipositada.

4. La distància entre l'objectiu i el substrat: la distància entre l'objectiu i el substrat afectarà la trajectòria i l'energia dels àtoms polveritzats, afectant així la velocitat de deposició i la uniformitat de la pel·lícula.

5. Densitat de potència: la densitat de potència aplicada a la superfície objectiu afecta la velocitat de pulverització i l'eficiència del procés de pulverització.

Controlant i optimitzant acuradament aquests paràmetres, el procés de pulverització es pot adaptar per aconseguir les propietats de la pel·lícula i les taxes de deposició desitjades.